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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | 한국어: |
| MOQ: | 1 세트 |
| 공급 능력: | 한달에 10 세트 |
탄탈 PVD 스프터링 코팅 머신, DC 마그네트론 스프터링에 의해 퇴적된 탄탈 필름, PVD 탄탈 플래팅
탄탈은 전자 산업에서 가장 널리 사용되며 침식에 대한 좋은 저항성 때문에 많은 산업에서 보호 코팅으로 사용됩니다.
스프터링 탕탈륨 필름은
1마이크로 전자 산업은 필름이 반응적으로 스프터링 될 수 있기 때문에 저항성과 저항의 온도 계수를 제어 할 수 있습니다.
2신체 임플란트 같은 의료기기,
3- 소화구, 밸브 몸체 및 고정장치와 같은 염증 저항성 부품에 코팅;
스프터링 탄탈륨 또한 사용 될 수 있습니다 효과적 인 퇴색 저항 장벽으로 코팅이 연속, 결함 및 기판에 붙는 경우 보호.
RTAS1000 기술적 장점
1. 플러그인 빠른 설치를 위한 통합 설계 시스템
2시멘스 PLC,CPU; 산업용 PC 조작 및 제어 하드웨어
3원격 모니터링 및 진단에 사용할 수 있습니다.
4융통성, 업그레이드 준비
5빠른 퇴적 속도를 위해 여러 캐토드
기계의 더 많은 이점:
탄탄한 디자인, 안정적인 품질, 빠른 사이클, 빠른 사이클 시간, 높은 퇴적 속도
| 주요 구성 | |
| 모델 | RTAS1000 |
| 기술 | DC 마그네트론 스프터링 + 카토드 아크 플래팅 |
| 방 소재 | 스테인리스 스틸 (S304) |
| 방 크기 | Φ1000*1000mm (H) |
| 방의 유형 | D 모양, 실린더형 방 |
| 회전 래크 & JIG 시스템 | 위성 운전 또는 중앙 운전 시스템 |
| 전력 공급 | DC 스프터링 전원 공급: 2 ~ 4 세트 Bias 전원 공급: 1 세트 아크 전원 공급: 11 세트 |
| 제출물질 | 티/크리/티알, 타, 아우, 아그, 쿠 등 |
| 매장 출처 |
평면 스프터링 카토드 + 원형 아크 카토드 참고: 실린더형 DC 스프터 사용 가능 |
| 통제 | PLC (프로그램 가능한 논리 컨트롤러) + 터치 스크린 (수동 + 자동 + 반 자동 조작 모델) |
| 펌프 시스템 | 로터리 바인 펌프: SV300B - 1 세트 (레이볼드) |
| 뿌리 펌프: WAU1001 - 1 세트 (Leybold) | |
| 유지 펌프: D60C - 1 세트 (레이볼드) | |
| 자기식 분자 펌프: MAG2200 - 2 세스트 (레이볼드) | |
| 가스 질량 흐름 조절기 | 4채널, 중국산, 세븐 스타 (CS 시리즈) 디지털 모델 (Ar, N2, O2, C2H2) |
| 진공 측정기 | 모델: ZDF-X-LE, 중국에서 제작 |
| 안전 시스템 | 많은 안전 잠금 장치 가 운영자 와 장비 인 을 보호 합니다 |
| 난방 | 히터: 20KW 최대 온도: 450°C |
| 냉각 | 산업용 냉장고 (냉수) |
| 파워 맥스 | 100KW (약.) |
| 평균 전력 소비 | 45 KW (약.) |
| 총중량 | T (약.) |
| 발자국 | (L*W*H) 4000*4000*3600MM |
| 전력 | AC 380V/3단계/50HZ / 5선 |
원통 스프터링 카토드 평면 스프터링 카토드
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