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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | RTAS1250 |
| MOQ: | 1 세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | L/C, D/A, D/P, T/T |
| 공급 능력: | 달 당 2 세트 |
DC 및 MF 마그네트론 스퍼터링 코팅기, 딥 블랙 PVD 코팅 솔루션
마그네트론 스퍼터링 코팅
플라즈마 코팅
마그네트론 스퍼터링은 타겟 표면에 대한 이온의 충격으로 인해 스퍼터링 재료가 방출되는 플라즈마 코팅 공정입니다.PVD 코팅 기계의 진공 챔버는 아르곤과 같은 불활성 가스로 채워져 있습니다.고전압을 인가하면 글로우 방전이 발생하여 타겟 표면과 플라즈마 코팅으로 이온이 가속됩니다.아르곤 이온은 타겟 표면에서 스퍼터링 물질을 방출(스퍼터링)하여 타겟 앞의 제품에 스퍼터링된 코팅 층이 생깁니다. 마그네트론 스퍼터링 기술은 다음과 같은 특징이 있습니다.
| 모델 | RTAC1250-SPMF | ||||||
| 기술 | MF 마그네트론 스퍼터링 + 이온 도금 | ||||||
| 재료 | 스테인리스강(S304) | ||||||
| 챔버 크기 | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| 챔버 유형 | 실린더, 수직, 1도어 | ||||||
| 스퍼터링 시스템 | 흑색 박막 증착 전용 설계 | ||||||
| 증착 재료 | 알루미늄, 은, 구리, 크롬, 스테인리스강, 니켈 |
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| 퇴적물 출처 | 2 세트 MF 원통형 스퍼터링 타겟 + 8 조정된 음극 아크 소스 + 옵션용 이온 소스 | ||||||
| 가스 | MFC- 4가지 방법, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| 제어 | PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러) + | ||||||
| 펌프 시스템 | SV300B - 1세트(레이볼트) | ||||||
| WAU1001 - 1세트(레이볼트) | |||||||
| D60T- 1세트(레이볼트) | |||||||
| 터보 분자 펌프: 2* F-400/3500 | |||||||
| 전처리 | 바이어스 전원 공급 장치: 1*36 KW | ||||||
| 안전 시스템 | 작업자를 보호하기 위한 다수의 안전 인터록 | ||||||
| 냉각 | 차가운 물 | ||||||
| 전력 전기 | 480V/3상/60HZ(미국 준거) | ||||||
| 460V/3상/50HZ(아시아 준거) | |||||||
| 380V/3상/50HZ(EU-CE 준거) | |||||||
| 발자국 | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| 총 무게 | 7.0T | ||||||
| 발자국 | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| 주기 시간 | 30~40분(기질에 따라 다름, 기판 기하학 및 환경 조건) |
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| 파워맥스.. | 155KW | ||||||
| 평균 전력 소비(대략) |
75KW |
자세한 사양은 당사에 문의하십시오. Royal Technology는 귀하에게 토털 코팅 솔루션을 제공하게 된 것을 영광으로 생각합니다.
