구리/알루미늄/탄소 침을 튀기기 장비, 높은 진공 자전관 침을 튀기기 공술서 체계
UHV 침을 튀기 공술서 체계는 PVD 공술서 근원으로 침을 튀기 음극선을 사용합니다. 그것은 항상 MF를 침을 튀깁니다 comibled DC는 indstrial PVD 코팅 신청을 위해 침을 튀깁니다. 다른 표적 및 침을 튀기 공술서 속도의 요구에 바탕을 두어, 왕 기술은 cylidrical 침을 튀깁니다 제공하고 평면 빠른 공술서 비율을 위한 음극선을, 주로 공업 생산품 코팅 수요를 만족시키기 위하여 침을 튀기십시오.
높은 진공 자전관 침을 튀기 공술서 체계는 구리, alumunium, 플라스틱, 금속 회로판 전도성 영화 층 도금을 위해 디자인됩니다. 그것은 기질에 Nano 박막을 집광할 수 있습니다. 침을 튀기는 Ag를 제외하고, 그것은 또한 Ni의 Au, Ag의 알루미늄, 크롬, 스테인리스 표적을 예금할 수 있습니다.
그것은 deposite 각종 기질에 높은 균등성 영화 할 수 있습니다: 등이 플라스틱 panle에 의하여, PC panle, 알루미늄 장, 세라믹 장, AlN 세라믹의 Al2O3 실리콘 시트를 깝니다.
RTSP1215 침을 튀기기 코팅 장비 배치
RTSP 시리즈 침을 튀기기 코팅 장비 신청:
1. 의 기질에 유효한: 플라스틱, 중합체의, 유리제 및 세라믹 장, 스테인리스, 구리 장, 알루미늄 널 등.
2. Nano 영화를 생성하고 싶으십시오: 주석, TiC, TiCN, 크롬, CrC, CrN, Cu, Ag, Au, Ni, 알루미늄 등.
RT-SP 시리즈 침을 튀기기 코팅 장비 설계 특징:
1. 한정된 방 공간을 위해 좋은 튼튼한 디자인
2. 정비와 수선을 위한 쉬운 접근
3. 높은 수확량을 위한 빠른 양수 체계
4. 세륨 표준 전기 울안, UL 기준은 또한 유효합니다.
5. 정확한 제작 솜씨
6. 고품질 영화 제작을 보장하는 안정되어 있는 달리기.
이온샘은 Gencoa 회사, 재산에게서 본래 입니다:
1. 표준 침을 튀기기 압력으로 조준된 플라스마 광속을 일으키는 낙관된 자기장
2. 일정한 현재 & 전압 – 다 가스 자동차 통제를 유지하는 가스를 위한 자동화된 규칙
3. 기질을 오염에서 보호하고 길 생활 성분을 제공하는 흑연 양극과 음극선
4. 모든 이온샘에 RF 표준 전기 절연제
5. 양극과 음극선 – 부속의 빠른 엇바꾸기의 간접적인 냉각
6. 낮은 전압 가동을 다수 자석 함정을 제공하는 음극선 부속의 쉬운 엇바꾸기, 또는 집중된 광속
7. 전압은 가스 조정 의견을 가진 동일한 현재를 항상 유지하기 위하여 전력 공급을 통제했습니다
높은 진공 자전관 침을 튀기기 공술서 체계 기술 명세:
| 모형 | RT1215-SP |
| 물자 | 스테인리스 (S304) |
| 약실 크기 | Φ1200*1500mm (h) |
| 약실 유형 | 수직 1 문 구조 |
| 단 하나 펌프 포장 | VaneVacuum 회전하는 펌프 |
| 뿌리 진공 펌프 | |
| 자석 중단 분자 펌프 | |
| 이단식 회전하는 바람개비 진공 펌프 | |
| 기술 | 침을 튀기는 MF 자전관, 선형 이온샘 |
| 전력 공급 | 침을 튀기기 전력 공급 + 비스듬한 전력 공급 + 이온샘 |
| 공술서 근원 | 4개 쌍 MF 침을 튀기 음극선 + 이온샘 + DC는 침을 튀깁니다 |
| 통제 | PLC+Touch 스크린 |
| 가스 | 가스 질량 흐름은 (Ar의 N2, C2H2, O2) 아르곤, 질소 및 Ethyne의 산소를 미터로 잽니다 |
| 안전 시스템 | 통신수와 장비를 보호하는 수많은 안전 내부고정기 |
| 냉각 | 찬물 |
| 청소 | 미광 방전/이온샘 |
| 힘 MAX. | 120KW |
| 평균 일률 소비 | 70KW |
