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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | DPC1215 |
| MOQ: | 1 |
| 가격: | Negoitable |
아우 골드 스프터링 퇴적 장비, 실브/골드 PVD 퇴적 기계, 전도성 필름 PVD 스프터링 시스템
요약:DPC 프로세스- 직접 접착 구리 는 LED / 반도체 / 전자 산업에 적용 된 첨단 코팅 기술입니다. 한 가지 전형적인 응용 프로그램은 세라믹 방사성 기판입니다.알루미늄 산화물 (Al2O3) 에 대한 쿠퍼 전도성 필름 퇴적, PVD 진공 스프터링 기술로 AlN 기판, 전통적인 제조와 비교
방법: DBC LTCC HTCC, 생산 비용이 훨씬 낮아 높은 특징입니다.
로얄 기술팀은 PVD 스프터링 기술을 사용하여 DPC 프로세스를 성공적으로 개발하는 데 고객에게 도움을 주었습니다.
키워드:세라믹 밀폐 부품, DPC 프로세스, 구리 PVD 스프터링 시스템, 쿠퍼 플래팅과 함께 LED 세라믹 칩, Al2오3, AlN 세라믹 회로 보드, LED에 Al2O3 판, 반도체
의 적용DPC:
· HBLED
· 태양 콘센트레이터 전지의 기판
· 자동차 모터 컨트롤을 포함한 전력 반도체 패키지
· 하이브리드 및 전기 자동차 전력 관리 전자
· RF용 패키지
· 마이크로 웨이브 장치
DPC 기술 성능
다양한 기판 재료: 세라믹 (Al3O2, AlN), 유리, Si
특징:
기술 사양
1최후 진공 압력: 9.0*10 이상-5아빠
3. 펌핑 다운 시간: atm에서 1.0 × 10-3Pa≤15분 (실온, 건조하고 깨끗하고 빈 방)
4퇴적 소스: Gencoa 마그네트론 스프터링 카토드, 유도 활 카토드, 이온 소스
5작동 모델: 완전 자동 / 반 자동 / 수동
6난방: 최대 500°C까지 방온,
9PECVD 및 PA PVD 프로세스의 이온 소스.
진공 코팅 기계는 아래와 같이 나열 된 핵심 완료 시스템을 포함합니다.
1진공실
1.1 크기: 내부 지름: 1200mm
내부 높이: 1500mm
1.2 재료: 진공실 SUS304
도어 및 플랜지 SUS304
챔버 강화 구조: SS41 부드러운 강철, 페인트 마감 표면 처리.
칸막이 차시 SS41 가벼운 강철 페인트 가공 표면 처리.
1.3 챔버 쉴드: SUS304
1.4 뷰 창문: 2 문
1.5 진공실 환기 밸브 (음소장기와 함께)
1.6 문: SUS304 재료
2롤라핑진공 펌프 시스템:
오일 로터리 밸브 진공 펌프 + 홀딩 펌프
3고 진공 펌프 시스템: 자석 서스펜션 분자 펌프 - 2 세트
4전기 제어 및 운영 시스템 - PLC + 터치 스크린 운영 시스템:
공급자:
PLC: 미쓰비시 + 터치 스크린 (중국 제조)
전자 부품: 슈나이더, 오몬.
안전 보호 시스템:많은 안전 잠금 장치 가 운영자 및 장비 (물, 가스 흐름, 온도 등) 를 보호 합니다.
코팅 프로세스 시스템: 프로세스 자동화 및 제어.
4.1 주 회로: 비 피지 차단 스위치, 전자기 스위치, C/T 시리즈형
4.2 전원 공급: DC/MF 스프터링 전력 + DC 아크 전력 + 비아스 전원 공급
4.3 퇴적 제어 시스템
4.4 운영 시스템: 터치 스크린 + PLC, 요리법 제어 및 데이터 로깅, 자동 종료, 자동 대피, 자동 코팅
4.5 측정 시스템
진공 압력: 진공 측정기: 피라니 + 페닝 측정기 + 전체 범위 진공 측정기 - 유럽 브랜드
온도 측정 장치: 열동력
MFC: 질량 흐름 조절기 (4가지 방식)
4.6 경보 시스템: 압축 공기 압력, 냉각 물 흐름, 오작동
4.7 전력 부하 표시기: 전압 표시기 및 부하 전류 표시기
5. 퇴적 시스템
5.1 퇴적원: 스프터링 카토드 + 아크 소스 + 이온 소스
5.2 퇴적물질: 구리, 알루미늄, 크롬, 은, 금, SS, 티타늄 등
6.하위 시스템
6.1 압축 공기 밸브 제어 시스템
6.2 냉각수 시스템:물 유통 파이프 및 스위치 밸브 시스템
7작업 환경
압축 공기: 5~8kg/cm2
냉각수: 물속 온도: 20~25°C, 200 리터/분
수압: 2~3kg/cm2
전력: 3단계 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, 평균 전력 소비: 60KW
설치 면적: (L*W*H) 4400*3200*2950mm
배기가스: 기계 펌프의 환기
더 자세한 사항은 저희에게 문의하십시오. 로열 테크놀로지는 전체 코팅 솔루션을 제공 할 수 있습니다.
