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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | RT1000-타 |
| MOQ: | 1개 세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | L/C,T/T |
| 공급 능력: | 달 당 5개 세트 |
마그네트론 스프터링은 탕탈, 티타늄, 울프스텐과 같은 불소속 금속을 저장하는 데 널리 사용됩니다.,니오비움, 아주 높은 온도를 필요로 하므로 퇴적, 그리고 귀금속: 금과 은 그리고 또한 구리, 알루미늄, 니켈, 크롬 등과 같은 낮은 녹는 지점 금속의 퇴적에 사용됩니다.
탄탈은 전자제품에서 가장 많이 사용됩니다.산업침식에 대한 좋은 저항성 때문에 보호 코팅으로.
스프터링 탕탈 얇은 필름의 응용:
1미세 전자 산업은 필름이 반응적으로 스프터링 될 수 있기 때문에 저항의 저항성과 온도 계수를 제어 할 수 있습니다.
기술적 이점
로열 테크놀로지 (Royal Technology) 의 표준화된 탄탈 스프터링 퇴적 시스템
| 주요 구성 | |
| 모델 | RT1000-Ta |
| 기술 |
펄스형 DC 마그네트론 스프터링 카토드 아크 접착 (보상용으로, 코팅 과정에 의해 결정) |
| 방 소재 | 스테인리스 스틸 (S304) |
| 방 크기 | Φ1000*1000mm (H) |
| 방의 유형 | D 모양, 실린더형 방 |
| 회전 래크 & JIG 시스템 | 위성 운전 또는 중앙 운전 시스템 |
| 전력 공급 |
DC 스프터링 전원 공급: 2~4 세트 이온 소스: 1 세트 |
| 제출물질 | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu 등 |
| 매장 출처 | 평면 스프터링 카토드 + 원형 아크 카토드 |
| 통제 | PLC (프로그램 가능한 논리 컨트롤러) + IPC (수동+자동+반자동 작동 모델) |
| 펌프 시스템 | 로터리 바인 펌프: SV300B 1 세트 (레이볼드) |
| 뿌리 펌프: WAU1001 1 세트 (레이볼드) | |
| 유지 펌프: D60C 1 세트 (레이볼드) | |
| 자기식 분자 펌프: MAG2200 2 세스트 (레이볼드) |
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| 가스 질량 흐름 조절기 | 2개의 채널: Ar와 N2 |
| 진공 측정기 | 인피콘 또는 레이볼드 |
| 안전 시스템 | 많은 안전 잠금 장치 가 운영자 와 장비 인 을 보호 합니다 |
| 난방 | 히터: 20KW 최대 온도: 450°C |
| 냉각 | 산업용 냉장고 (냉수) |
| 파워 맥스 | 100KW (약.) |
| 평균 전력 소비 | 45 KW (약.) |
| 총중량 | T (약.) |
| 발자국 | (L*W*H) 4000*4000*3600MM |
| 전기 전력 |
AC 380V/3단계/50HZ / 5선 |
내장:
건설 시점: 2018년
위치: 중국
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