증착 시스템, 비평형 마그네트론 스퍼터링 이온 도금법을 스퍼터링시키는 닫힌 분야 비균형 마그네트론 균형 잡히지 않고 닫힌 분야 마그네트론 절차는 평탄 마그네트론의 모든 장점을 가집니다. 추가적 이점과 불리한 점은 다음과 같습니다 : 밀집하는, 점착성 필름의 결과가 되는 추가적 이온 충돌 이온 어시스트와 기판이 가능하여서 세척됩니다 트라이볼러지, 웨어와 부...더 견해
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닫힌 분야가 자전관 스퍼터링 시스템을 불균형하게 했다고, CE는 PVD 이온 도금 기계를 증명했습니다