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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | RTSP1000 |
| MOQ: | 1 세트 |
| 공급 능력: | 한달에 10 세트 |
증착 시스템, 비평형 마그네트론 스퍼터링 이온 도금법을 스퍼터링시키는 닫힌 분야 비균형 마그네트론
균형 잡히지 않고 닫힌 분야 마그네트론 절차는 평탄 마그네트론의 모든 장점을 가집니다. 추가적 이점과 불리한 점은 다음과 같습니다 :
마그네트론 스퍼터링 공정에 의해 성취할 수 있는 고취된 특성을 스퍼터링시키는 균형 잡히지 않고 닫힌 분야 마그네트론. 이 기술이 있었을 만큼 개선된 얇은 필름 트라이볼러지, 부식 저항성과 광학의 특성으로 성공적이게, 마그네트론 기술의 개선은 단지 시작했습니다. 다음 블로그 우리가 회전하고 원통 마그네트론 과정과 결과로 생기는 박막 응용으로 이동합니다.
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왕족 기술은 특히 라레와 팽창 금속 스퍼터링을 위해, 높은 생산과 높은 목표 사용율 스퍼터링 캐소드를 개발했습니다 : Au 금, Ta 탄탈, Ag 은 금속 필름 증착. 높은 균일성 영화의 증착 시스템은 최고 영화 균일성, 다층 증착을 요구하는 전자공학 부분, 의료 기계 부품과 같은 여러 산업을 서빙했습니다.
RTSP1000 기계는 왕족 기술의 개발된 표준화된 기계입니다. 익스텐시브는 절단 / 포밍 툴, 주형, 의료 기계, 전자공학적 성분, 자동차 산업으로 적용되었습니다.
| RTSP1000 메인 구성과 기술적인 매개 변수 | ||||||||
| 모델 | RTSP1000 | |||||||
| 기술 | MF 자전관 스퍼터링 + 이온 소스 플라즈마 세정 | |||||||
| 챔버 물질 | 스테인레스 강 (S304) | |||||||
| 챔버 사이즈 | Φ1000*800mm (H) | |||||||
| 챔버 타입 | Ｄ 형태 | |||||||
| 회전 랙 & 지그 시스템 | 6 위성 맥스. 중량 : 500kgs | |||||||
| 전원 공급기 |
수량. 스퍼터링의 : 전원 공급기의 2*24 KW 선입견 : 1*20W 이온 소스 전원 공급기 1*5KW |
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| 피착 물 | Ti/Cr/TiAl /Ta/Cu/Au/Carbon 기타 등등. | |||||||
| 증착 소스 | 2 쌍 (4개 부분) 평면 스퍼터링 캐소드 + 1개의 선 이온 소스 균일성 지역 : ±10~15% |
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| 제어 | PLC (프로그램 논리 제어기) + 터치 스크린 (manual+ auto+ 세미 오트 운영 모델들) | |||||||
| 펌프 시스템 | 로터리 베인 펌프 : SV300B - 1개 세트 (레이볼드) | |||||||
| 루츠 펌프 : WAU1001- 1 세트 (레이볼드) | ||||||||
| 고진공 유지 펌프 : D60C- 1 세트 (레이볼드) | ||||||||
| 마그네틱 서스펜션 분자 펌프 - 1개 세트 (레이볼드) | ||||||||
| 가스 흐름 조절부 | 중국에서 만들어지는 4개 채널, 일곱명의 스타 (CS 시리즈,) 디지털 모델 | |||||||
| 진공 게이지 | 모형을 만드세요 : 중국에서 만들어지는 ZDF-X-LE : ZDF-X-LE | |||||||
| 선형 이온 원천 | 1 부분 전처리, 플라즈마 세정 + 보조 증착 | |||||||
| 안전 시스템 | 수많은 안전은 운영들과 장비를 보호하기 위해 맞물립니다 | |||||||
| 난방 | 히터 : 30KW. 맥스. 임시. 다음 450C | |||||||
| 냉각 | 산업적 냉각장치 (찬물) | |||||||
| 전원 맥스. | (대략적인 100KW.) | |||||||
| 평균 소비 전력 | (대략적인 45 KW.) | |||||||
| 총 중량 | Ｔ (대략적인.) | |||||||
| 발자국 | ( L*W*H) 4000*4000 *3200 MM | |||||||
| 전기적인 전력 | AC 380V/3 phases/50HZ / 5 라인 | |||||||
높은 목표 활용 평면 스퍼터링 증착 : 비디오를 보려면 여기를 클릭합니다
선 이온 소스 플라즈마 세정과 보조 증착 : 비디오를 보려면 여기를 클릭합니다
더 많은 상술을 위해 우리에 연락하시오 그러면 왕족 기술은 당신에게 전체 도료 솔루션을 제공하는 것을 영광으로 생각합니다.
