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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1개 세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | L/C,T/T |
| 공급 능력: | 달 당 8 세트 |
탄탈의 퇴적금, 귀금속 스프터링
스프터링은 탄탈, 티타늄, 울프스텐과 같은 불소연 금속을 저장하는 데 널리 사용됩니다.,니오비움, 아주 높은 온도를 필요로 하므로 퇴적, 그리고 귀금속: 금과 은, 그리고 그것은 또한 낮은 녹는 지점 금속의 퇴적에 사용됩니다 구리, 알루미늄, 니켈, 크롬 등과 같은.
탄탈은 전자제품에서 가장 많이 사용됩니다. 산업침식에 대한 좋은 저항성 때문에 보호 코팅으로.
스프터링 탕탈륨 필름은
1마이크로 전자 산업은 필름이 반응적으로 스프터링 될 수 있기 때문에 저항성과 저항의 온도 계수를 제어 할 수 있습니다.
2신체 임플란트 같은 의료기기,
3- 소화구, 밸브 몸체 및 고정장치와 같은 염증 저항성 부품에 코팅;
4.스프터링 탄탈륨 또한 사용 될 수 있습니다 효과적 인 부식 저항 장벽으로 코팅이 연속, 결함 및 기판에 붙는 경우 보호.
왕실 기술∙표준화된 탄탈 스프터링 퇴적 시스템: RTSP1000 모델
탄탈 스푸터 필름 속성:
낮은 저항성
높은 부식 및 마모에 저항하는 표면 코팅 높은 스트레스와 혹독한 화학 및 침식 환경에 노출됩니다.
설계 특징:
탄탄한 디자인, 안정적인 품질, 빠른 사이클, 고 정밀 시스템
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주요 구성 |
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모델 |
RTSP1000 |
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기술 |
DC 마그네트론 스프터링 + 카토드 아크 플래팅 |
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방 소재 |
스테인리스 스틸 (S304) |
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방 크기 |
Φ1000*1600mm (H) |
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방의 유형 |
D 모양, 실린더형 방 |
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회전 래크 & JIG 시스템 |
위성 운전 또는 중앙 운전 시스템 |
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전력 공급 |
DC 스프터링 전원 공급: 2~4 세트 이온 소스: 1 세트 |
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제출물질 |
Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu 등등 |
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매장 출처 |
평면 스프터링 카토드 + 원형 아크 카토드 |
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통제 |
PLC (프로그램 가능한 논리 컨트롤러) + 터치 스크린 |
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펌프 시스템 |
로터리 밴 펌프: SV300B - 1 세트 (레이볼드) |
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뿌리 펌프: WAU1001 - 1 세트 (Leybold) |
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유지 펌프: D60C - 1 세트 (레이볼드) |
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자기식 분자 펌프: |
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가스 질량 흐름 조절기 |
2채널: Ar 및 N2 |
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진공 측정기 |
인피콘 또는 레이볼드 |
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안전 시스템 |
많은 안전 잠금 장치 가 운영자 와 장비 인 을 보호 합니다 |
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난방 |
열기:20KW 최대 온도: 450°C |
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냉각 |
산업용 냉장고 (냉수) |
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파워 맥스 |
100KW (약.) |
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평균 전력 소비 |
45 KW (약.) |
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총중량 |
T (약.) |
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발자국 |
(L*W*H) 4000*4000*3600MM |
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전기 전력 |
AC 380V/3단계/50HZ / 5선 |
장비 구조:
코팅 시스템 구조: 수직 방향, 팔각형 구조, 접근하기 쉬운 2 개의 문.
환경 친화적 시스템, 위험한 폐기물 없습니다.
전체 통합, 모듈 디자인
산업용 대량 생산을 위한 상용화 및 표준화
강한 접착과 높은 이온화를 위한 매우 효율적인 이온 소스입니다.
쉬운 조작: 터치 화면 + PLC 제어, 한 터치 작업
높은 균일성 퇴적을 위한 카루셀 시스템의 특수 설계
높은 생산성과 안정성, 일주일에 24시간, 24시간
유연하고, 다양한 크기의 판에 맞게
주요 구성 요소
보조 분비 과정의 이온 소스:
플라즈마 이티칭 프로세스의 이온 소스:
RT1200-FCEV 기계는 다양한 단단한 코팅, 부드러운 코팅,금속 및 비금속 물질 기판에 합성 필름 및 고형 윤활염 필름수소 연료전지 차량, 광학 제품, 항공우주 및 기타 새로운 에너지 산업에 적용됩니다.
퇴적 필름의 성능:
표면의 전도성을 향상시키기 위해
높은 부식 저항성
높은 마모 저항성
고강도
수소공성 합성 필름 및 기타 기능 필름
복합 코팅에 사용할 수 있습니다: 금속 및 비 금속 필름.
필름 두께 범위 100nm에서 12μm, 두께 허용 ±5%
강한 접착력
낮은 템퍼먼트 부품의 표면 경화 처리
종류:
수직지향, 8개 구조, 2개의 문 (전면과 후면)
디자인 장점:
자세한 사항은 저희에게 문의하십시오. 로열 테크 팀은 최고의 서비스와 지식.
