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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | Multi950 |
| MOQ: | 1 세트 |
| 가격: | depends on |
| 지불 조건: | L/C,T/T |
| 공급 능력: | 한달에 10 세트 |
T하이브리드 코팅 머신에 PVD와 PECVD 기술을 통합하면 코팅 품질, 다재다능성, 제어, 효율성, 비용 절감 등이 향상될 수 있는 다양한 장점이 있습니다.사용자 정의, 환경 지속가능성
롤 테크의 첨단 디자인 코팅 시스템의 한 획을 그은 멀티 950입니다.그의 창조적이고 이기적인 헌신은 무한한 가치이며 우리 팀에 영감을 주었습니다..
2018년, 우리는 또 다른 프로젝트 협력을 Pressor Chen, C-60 물질 퇴적
인덕티브 열 증발 방법. 우리는 모든 혁신적인 프로젝트에 대한 임무 양 씨와 첸 교수의 지도와 지침에 진심으로 감사드립니다.
Multi950 기계 속성:
콤팩트 발자국
표준 모듈 디자인
유연성
신뢰성,
옥탈 챔버
2개의 문 구조로 접근이 편리합니다
PVD + PECVD 프로세스
디자인 특징:
1유연성: 활 및 스프터링 카토드, 이온 소스 장착 플랜지 가 유연한 교환을 위해 표준화됩니다.
2다재다능성: 다양한 일반 금속과 합금, 광학 코팅, 단단한 코팅, 부드러운 코팅,금속 및 비금속 물질 기판에 합성 필름 및 고형 윤활염 필름.
3직선형 디자인: 2개의 문 구조, 앞과 뒷쪽이 열립니다.
멀티950 기계는 연구개발을 위한 맞춤형 다기능 진공 퇴적 시스템입니다.우리는 마침내 그들의 R&D 애플리케이션을 충족시키기 위해 디자인과 구성을 확인이 시스템은 PECVD 공정으로 투명한 DLC 필름, 도구에 단단한 코팅, 스프터링 카토드와 광학 필름을 저장할 수 있습니다. 이 파일럿 기계 설계 개념을 기반으로,우리는 그 후 다른 3 개의 코팅 시스템을 개발했습니다.:
1연료전지 전기차용 양극판 코팅- FCEV1213,
2세라믹 직접 접착 구리- DPC1215
3유연 스프터링 시스템- RTSP1215
이 4 모델 기계는 모두 옥탈 챔버, 유연하고 신뢰할 수있는 성능을 가지고 있으며 다양한 응용 분야에서 광범위하게 사용됩니다.그것은 여러 다른 금속 계층을 필요로 코팅 프로세스를 만족: 알, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS 및 다른 많은 비 피어 자기 금속;
이온 소스 유닛을 추가하여, 플라즈마 발각 성능으로 다른 기판 재료에 필름 접착력을 효율적으로 향상시키고, PECVD 프로세스를 통해 탄소 기반 층을 퇴적합니다.
Multi950 - 기술 사양
| 설명 | 멀티-950 |
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분해 방 (mm) 너비 x 깊이 x 높이 |
1050 x 950 x 1350 |
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매장 원천 |
1 쌍의 MF 스프터링 카토드 |
| 1 쌍의 PECVD | |
| 8 세트 아크 카토드 | |
| 선형 이온 소스 | 1 세트 |
| 플라즈마 균일성 구역 (mm) | φ650 x H750 |
| 카루셀 | 6 x φ300 |
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전력 (KW) |
편차: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x36 | |
| 아크: 8 x 5 | |
| 이온 소스: 1 x 5 | |
| 가스 제어 시스템 | MFC: 4 + 1 |
| 난방 시스템 | 500°C, 열쌍 PID 제어 |
| 고 진공 게이트 밸브 | 2 |
| 터보 분자 펌프 | 2 x 2000L/S |
| 뿌리 펌프 | 1 x 300L/S |
| 로터리 판 펌프 | 1 x 90m3/h + 1 x 48m3/h |
| 발자국 (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| 전체 전력 (KW) | 150 |
로열 테크의 서비스 및 엔지니어링 팀은 현장에서 고객 지원을 제공합니다, 귀하의 응용 프로그램을 위해 저희에게 연락하십시오!
