마그네트론 스프터링 퇴적 시스템

  소수성 구성 영화 및 다른 기능적인 영화를 위한 공술서 체계가 Photonics에 의하여 침을 튀깁니다

신청:

RTSP1213 기계는 금속과 비 금속 물자 기질에 배치 모형 침을 튀기 체계, 깡통 예금 각종 단단한 코팅, 연약한 코팅, 합성 영화 및 단단한 기름을 바르는 영화입니다. 수소 연료 전지 차량, photonics 제품, 항공 우주 및 다른 새로운 에너지 산업의 기업에 적용하는.

재산:

표면의 전도도를 개량하기 위하여;

 높은 내식성;

 높은 착용 저항;

 높은 경도

 소수성 구성 영화 및 다른 기능적인 영화

합성 코팅을 위해 유효한: 금속과 비 금속 영화.

100nm에서 12μm에 영화 간격 범위, 간격 포용력 ±5%
 강한 접착.

 낮은 부드럽게 하는 부속 지상 강하게 하는 처리.

유형:

수직 오리엔테이션, 다면체 구조, 2 문 (정면과 뒤)

특징:

• 환경에 친절한 체계, 산업 폐기물 물, 공기 및 소음 공해 없음;
• 쉬운 가동: 터치스크린 + 1개의 접촉 가동, 80% 이상 분쟁 해결 경보를 위한 PLC 통제 및 유일한 소프트웨어 프로그램.
• 10까지 가공 조리법 로그인 및 백업; 높은 반복성 및 다양성.
• 영화 공술서의 높은 균등성을 위한 회전 목마 체계의 특별한 디자인.
• 높은 생산력 및 고품질
• 365 일 * 24hrs를 실행하는 안정되어 있고는 믿을 수 있는 체계 (시간을 끊는 정비와 수선)
• 효율성 양수 체계: 유명한 유럽 상표 펌프를 가진 최대 평화로운 속도를 위한 더 짧은 진공 평화로운 선
• 소형 디자인은 최소한도 임명 공간을 점유합니다.

기술 명세

• 성과

1. 궁극적인 진공 압력: 8.0*10-5 Pa 보다는 나아지십시오;

• 진공 압력의 기초를 두십시오: 3.0*10-4 Pa

3. 양수 가동불능시간: atm에서 1.0×10-3 Pa≤15 분에 (건조한 실내 온도는, 약실을 청소하고 비웁니다)

4. 공술서 근원: 공정했던/침을 튀기 음극선을 불균형하게 했습니다

5. 작동 모형: 수동의 가득 차있는 자동적으로 /Semi-Auto/

6. 가열: 최대까지 실내 온도에서. 450℃,

7. 플라스마 청소와 플라스마 지원 공술서: 양극 선형 이온샘

8. 신청되는 자석 닫힌 고리. (불균형/균형 음극선)

9. 놀 출력을 위한 비스듬한 전력 공급.

• 구조

진공 코팅 기계는 아래에 리스트 된 열쇠 완비 체계를 포함합니다:

1. 진공 약실
1.1 크기: 안 직경 1200mm

안 고도: 1300mm

1.2 물자: 진공 약실 SUS304

문과 플랜지 SUS304

약실은 구조를 강화합니다: 그려진 끝내는 지상 처리와 더불어 SS41 온화한 강철.

그려진 끝내는 지상 처리를 가진 약실 포좌 SS41 온화한 강철.

1.3 침을 튀기기 방패: SUS304

1.4 전망 창: 에 약실 문 - 4 세트 (각 문에 2)

1.5 진공 약실 배기 벨브 (를 포함하여 소음기)

1.6 문: SUS304 물자

2. 등경 진공 양수 체계:

기름 회전하는 바람개비 진공 펌프 +Roots 펌프 + 붙들기 펌프 (Leybold)를

3. 높은 진공 양수 체계:

자석 중단 분자 펌프 (Leybold)

• 게이트 밸브 - 2 세트

4. 전기 통제와 가동 체계 PLC+ 터치스크린

4.1 요점 회로: 아무도 신관 차단기 스위치, 전자기 스위치, 시리즈 유형에 있는 C/T

4.2 침을 튀기기 전력 공급 + 이온샘 전력 공급 + 비스듬한 전력 공급 (진보된 에너지)

4.3 침을 튀기기 공술서 통제 시스템

4.4 가동 체계: 터치스크린 + PLC, 조리법 통제 및의 자동 폐쇄, 자동 철수, 자동 코팅 자료 기록

4.5 측정계

진공 압력: 진공 계기: Pirani + 계기를 + 전 범위 진공 계기 쓰기 -- 유럽 상표

온도 측정기: 열전대
MFC: 질량 흐름 관제사 (4가지의 방법), 디지털 표시 장치 형태-- 유럽 상표

4.6 경보망: 압축 공기의 압력, 찬물 교류, Mis 가동

4.7 힘 짐 지시자: 전압 지시자와 짐 현재 지시자

5. 공술서 체계

5.1 공술서 근원: 침을 튀기기 음극선, 이온샘 -- 유럽 상표

5.2 공술서 물자: 탄소 표적

6. 하부 조직

6.1 공기 압축 벨브 통제 시스템

6.2 찬물 체계: 물 교류 관과 스위치 벨브 체계

7.Working 환경

압축공기: 5~8kg/cm2

찬물: 온도물에서: 20~25℃, 200 리터/분,
압력물에서: 2~3 kg/cm2,

힘: 3 단계 380V 50Hz (60Hz), 75kVA의 평균 일률 소비: 40KW

임명 지역: (L*W*H) 3000*4000*3200mm

배출: 기계적인 펌프를 위한 환풍

왜 저희?

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