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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | RTSP1200 |
| MOQ: | 1 세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | L/C,D/A,D/P,T/T |
| 공급 능력: | 달 당 6 세트 |
기계 모델: RT1200-FCEV
기술: PECVD + PVD 마그네트론 스프터링: Si, Cr, 그래피트 타겟을 분해하여 높은 밀도를위한 불균형 폐쇄 자기장을 생성합니다.높은 균일성 및 우수한 염화 저항성 탄소 기반 필름.
이건RT기생물고 진공 마그네트론 분사 퇴적 시스템은 우리가 상하이 대학을 위해 만든 모델 Multi950-R & D를 참조하는 맞춤형 모델입니다.
Octal 방으로 설계, 유연하고 신뢰할 수있는 성능은 다양한 응용 분야에서 광범위하게 사용됩니다. 그것은 여러 가지 금속 층을 필요로 하는 코팅 프로세스를 만족합니다: Ta, Cr, Si,그래피트, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS 및 다른 많은 비 철자기 금속; 더하기 이온 소스 단위,
플라즈마 에칭 성능과 PECVD 프로세스를 통해 탄소 기반 층을 일부 퇴적시키는 것으로 다른 기판 재료에 대한 필름 접착력을 효율적으로 향상시킵니다.
장비 구조:
수직 방향, 팔각형 구조, 2 개의 문 열기 (전면과 후면) 가 쉽게 접근 할 수 있습니다.
장비의 특징:
환경 친화적 인 시스템, 위험한 폐기물 없습니다
높은 통합, 모듈형 설계
산업용 대량 생산을 위한 상용화 및 표준화
강한 접착과 높은 이온화를 위한 극도로 효율적인 이온 소스
쉬운 조작: 터치 화면 + PLC 제어, 한 터치 작업
로얄 테크놀로지 소프트웨어로 프로세스 매개 변수를 프로그래밍하고 저장하고 재생할 수 있습니다.
매우 균일한 퇴적을 위한 카루셀 시스템의 특수 설계
높은 생산성과 안정성, 일주일에 24시간, 24시간
유연하고 다양한 크기의 판에 맞게, 일면 또는 이면 코팅을 위해
PVD 및 PECVD 코팅 필름 성능:
표면의 전도성을 향상시키기 위해
높은 부식 저항성
높은 마모 저항성
고강도
수소공성 합성 필름 및 기타 기능 필름
복합 코팅 용품: 금속 및 비 금속 필름
필름 두께 범위 100nm에서 12μm, 두께 허용 ± 5% 강한 접착력
낮은 온도 부품의 표면 경화 처리
| 모델 | RT기생물 | |||||||||
| 소재 | 스테인리스 스틸 (S304) | |||||||||
| 방 크기 | Φ1250*1350mm (H) | |||||||||
| 방의 유형 | 앞과 뒷 2개의 문 구조, 수직 | |||||||||
| 단일 펌프 패키지 | 로터리 피스톤 진공 펌프 | |||||||||
| 뿌리 진공 펌프 | ||||||||||
| 자기식 분자 펌프 | ||||||||||
| 로터리 바인 펌프 (홀딩 펌프) | ||||||||||
| 기술 | 마그네트론 스프터링, 이온 소스 PECVD | |||||||||
| 전력 공급 | 스프터링 전원 공급 + 비아스 전원 공급 + 이온 소스 | |||||||||
| 매장 출처 | 2쌍 DC/RF 스프터링 카토드 + (2쌍 예비 사용) + 이온 소스 | |||||||||
| 통제 | PLC+터치 스크린 | |||||||||
| 가스 | 가스 질량 흐름계 (Ar, N2, C2H2, O2) 아르곤, 질소 및 에틴, 산소 | |||||||||
| 안전 시스템 | 많은 안전 잠금 장치 가 운영자 와 장비 를 보호 합니다 | |||||||||
| 냉각 | 냉각수 | |||||||||
| 청소 | 반짝이는 방출 / 이온 소스 | |||||||||
| 파워 맥스 | 150KW | |||||||||
| 평균 전력 소비 | 75KW | |||||||||
더 자세한 사항은 저희에게 문의하십시오. 로열 테크놀로지는 전체 코팅 솔루션을 제공 할 수 있습니다.
