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| 브랜드 이름: | ROYAL |
| 모델 번호: | 멀티 950 |
| MOQ: | 1 세트 |
| 가격: | 협상 가능 |
| 지불 조건: | L/C, T/T |
| 공급 능력: | 달 당 26 세트 |
로얄 테크놀로지 멀티 950
PVD + PECVD 진공 퇴적 기계
Multi950 기계는 R&D를 위한 맞춤형 다기능 진공 퇴적 시스템입니다.
첸 교수가 이끄는 상하이 대학 팀과 긴밀한 교류 끝에 우리는 마침내 그들의 연구개발 애플리케이션을 충족시키기 위한 설계와 구성을 확인했습니다.이 시스템은 투명한 DLC 필름을 PECVD 프로세스로 저장할 수 있습니다.이 시범 기계 설계 개념을 바탕으로, 우리는 나중에 다른 3 개의 코팅 시스템을 개발했습니다.
1연료전지 전기차용 양극판 코팅- FCEV1213
2세라믹 직접 접착 구리- DPC1215
3유연 스프터링 시스템- 구리 PCB 금 접착 시스템
이 3 기계 모두 다양한 응용 프로그램에서 유연하고 신뢰할 수있는 성능을 허용하는 팔각 방으로 구성되어 있습니다.,Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS 그리고 다른 많은 비철자기 금속.플라즈마 에칭 성능으로 다른 기판 재료에 필름 접착력을 효율적으로 향상시킵니다., PECVD 과정을 통해 탄소 기반 층을 퇴적합니다.
멀티950은 로얄 테크놀로지의 첨단 디자인 코팅 시스템의 한 획입니다.상하이 대학의 학생들과 이강 첸 교수가 창의적이고 자사적인 헌신으로 그들을 이끌었기 때문입니다., 우리는 그의 귀중한 정보를 최첨단 기계로 변환할 수 있었다.
2018년, 우리는 첸 교수와 또 다른 프로젝트 협업을 했습니다.
C-60 물질의 퇴적, 인덕티브 열 증발 방법.
이 혁신적인 프로젝트의 핵심은 이모 양과 첸 교수입니다.
기술적 이점
디자인 특성
1유연성: 활과 스프터링 카토드, 이온 소스 장착 플랜지 가 유연한 교환을 위해 표준화되어 있습니다.
2다재다능성: 다양한 일반 금속과 합금, 광학 코팅, 단단한 코팅, 부드러운 코팅,금속 및 비금속 물질 기판에 합성 필름 및 고형 윤활염 필름
3직선형 설계: 2개의 문 구조, 앞과 뒷쪽을 쉽게 열 수 있는 유지보수
기술 사양
모델: 멀티-950
분해 방 (mm)
지름 x 높이: φ950 x 1350
퇴적 소스: 1 쌍의 MF 스프터링 카토드
1 쌍의 PECVD
8 세트 아크 카토드
1 세트 선형 이온 소스
플라즈마 균일성 구역 (mm): φ650 x H750
카루셀: 6 xφ300
파워 (KW) 비아스: 1 x 36
MF 스프터링 전력 (KW): 1 x 36
PECVD (KW): 1 x36
도선 (KW): 8 x 5
이온 소스 (KW): 1 x 5
가스 제어 시스템 MFC: 4 + 1
난방 시스템: 18KW, 최대 500°C, 열 쌍 PID 제어
고 진공 게이트 밸브: 2
터보 분자 펌프: 2 x 2000L/S
뿌리 펌프: 1 x 300L/S
로터리 패너 펌프: 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h
발자국 (L x W x H) mm: 3000 * 4000 * 3200
전체 전력 (KW): 150
레이아웃
건설 시점: 2015
위치: 중국 상하이 대학교
