로얄 테크놀로지 멀티950
——PVD + PECVD 진공 증착기
Multi950 장비는 R&D를 위한 맞춤형 다기능 진공 증착 시스템입니다.
Chen 교수가 이끄는 Shanghai University 팀과의 긴밀한 교류 후 마침내 R&D 애플리케이션을 수행할 수 있는 설계 및 구성을 확인했습니다.이 시스템은 PECVD 공정으로 투명한 DLC 필름을 증착할 수 있으며, 장비에 하드 코팅을 하고 스퍼터링 음극을 사용하는 광학 필름을 증착할 수 있습니다.이 파일럿 기계 설계 개념을 기반으로 이후 3가지 다른 코팅 시스템을 개발했습니다.
1. 연료전지 전기자동차용 바이폴라 플레이트 코팅 - FCEV1213
2. 세라믹 직접 도금 구리 - DPC1215
3. 유연한 스퍼터링 시스템 - 구리 PCB 금도금 시스템
이 3대의 기계에는 모두 8각형 챔버가 있어 다양한 응용 분야에서 유연하고 안정적인 성능을 발휘할 수 있습니다.코팅 공정을 만족하며 Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS 및 기타 많은 비강자성 금속과 같은 다양한 금속층이 필요합니다.또한 이온 소스 장치는 플라즈마 에칭 성능과 일부 탄소 기반 층을 증착하는 PECVD 공정으로 다양한 기판 재료에 대한 필름 접착력을 효율적으로 향상시킵니다.
Multi950은 Royal Technology의 고급 디자인 코팅 시스템의 이정표입니다.상하이 대학 학생들과 Yigang Chen 교수의 창의적이고 사심 없는 헌신으로 그들을 이끌어준 덕분에 우리는 그의 귀중한 정보를 최첨단 기계로 변환할 수 있었습니다.
2018년에 우리는 Chen 교수와 또 다른 프로젝트 협력을 가졌습니다.
유도 열 증발법에 의한 C-60 재료 증착.
Mr. Yimou Yang과 Chen 교수는 이러한 혁신적인 프로젝트의 근간이었습니다.
기술적 이점
디자인 특징
1. 유연성: 아크 및 스퍼터링 음극, 이온 소스 장착 플랜지는 유연한 교환을 위해 표준화되었습니다.
2. 다양성: 다양한 비금속 및 합금을 증착할 수 있습니다.금속 및 비금속 재료 기판의 광학 코팅, 하드 코팅, 소프트 코팅, 복합 필름 및 고체 윤활 필름
3. 직관적인 디자인: 2도어 구조, 전면 및 후면 개방으로 유지보수 용이
기술 사양
모델: 멀티-950
증착 챔버(mm)
직경 x 높이: φ950 x 1350
증착 소스: MF 스퍼터링 음극 1쌍
PECVD 1쌍
8 세트 아크 음극
1 세트 선형 이온 소스
플라즈마 균일성 영역(mm): φ650 x H750
캐러셀: 6 xφ300
전력(KW) 바이어스: 1 x 36
MF 스퍼터링 전력(KW): 1 x 36
PECVD(KW): 1 x36
아크(KW): 8 x 5
이온 소스(KW): 1 x 5
가스 제어 시스템 MFC: 4 + 1
난방 시스템: 18KW, 최대 500℃, 열전쌍 PID 제어
고진공 게이트 밸브: 2
터보 분자 펌프: 2 x 2000L/S
루츠 펌프: 1 x 300L/S
로터리 베인 펌프: 1 x 90m³/h + 1 x 48m³/h
설치 면적(L x W x H) mm: 3000 * 4000 * 3200
총 전력(KW): 150
형세
건축 시간: 2015
위치: 중국 상하이 대학교
