PVD 박막 공술서 체계 침을 튀기고는 그리고 열 증발 진공 코팅 장비
PVD 박막 공술서 체계, 침을 튀기고는 및 열 증발 진공 코팅 장비
PVD 박막 공술서 체계는 텅스텐 필라멘트 증발 근원의 공술서 근원을 포함하고 근원이 DC 자전관에 의하여 침을 튀깁니다 (RF 침을 튀기 음극선은 선택권을 위해 입니다). 이 장비는 주로 예금 물자를 가진 플라스틱 부분, 유리, 금속 또는 포일에 박막을 같이 예금하기 위하여 사용됩니다: 제품 표면에 높은 사려깊은 박막 또는 전도성 영화를 얻거나, 금속 전망 이미지를 주는 일반의 순수한 금속 알루미늄, 크롬, Cu, Ag, Au, 티타늄 등 증발 근원. 라는 것 말고는, 침을 튀기 근원은 투명한 전도성 산화물, 등을 포함하여 반도체 물자 그리고 유전체들의 광범위를 집광합니다.
PVD 박막 공술서 시스템 구성:
성과
1. 궁극적인 진공 압력: 5.0×10-6 Torr 보다는 나아지십시오.
2. 작동 진공 압력: 1.0×10-4 Torr.
3. 1 atm에서 1.0×10-4 Torr≤3 분에 가동불능시간 양수 (실내 온도는, 약실을 말리고, 청소하고 비웁니다)
4. 물자 (증발)를 금속을 입히기: 알루미늄, 크롬, Sn, 티타늄, SS, Cu… 등.
5. 작동 모형: 수동의 가득 차있는 자동적으로 /Semi-Auto/
l 구조
진공 코팅 기계는 아래에 리스트 된 열쇠 완비 체계를 포함합니다:
1. 진공 약실
1.1 크기: 안 직경 1600mm
안 고도 1600mm
1.2 물자: 진공 약실 SUS304 (선택권을 위한 SS41 온화한 강철)
문과 플랜지 SUS304 (선택권을 위한 SS41 온화한 강철)
약실은 구조를 강화합니다: 그려진 끝내는 지상 처리와 더불어 SS41 온화한 강철.
그려진 끝내는 지상 처리를 가진 약실 포좌 SS41 온화한 강철.
1.3 방패: SUS304
1.4 전망 창: 약실 문에
1.5 소음기를 포함하여 진공 약실 배기 벨브,
1.6 문 SUS304 물자
2. Rouhging 진공 양수 체계
3. 높은 진공 양수 체계
4. 전기 통제와 가동 체계 PLC+ 터치스크린
4.1 요점 회로: 아무도 신관 차단기 스위치, 전자기 스위치, 시리즈 유형에 있는 C/T
4.2 증발 힘: 35kVA
4.3 증발 통제 시스템
4.4 가동 체계: 터치스크린 + PLC, 조리법 통제 및의 자동 폐쇄, 자동 철수, 자동 코팅 자료 기록
4.5 진공 압력 측정계
진공 계기: Pirani + 계기를 쓰기
열전대 계기: 760 Torr ~ 5*10-4 Torr
4.6 경보망: 압축 공기의 압력, 찬물 교류, Mis 가동
4.7 힘 짐 지시자: 전압 지시자와 짐 현재 지시자
5. 공술서 체계
5.1 텅스텐 필라멘트 증발 근원
5.2 열 증발 물자: 철사, 반지, 막대 등.
5.3 침을 튀기십시오 근원 (동력 급강하 DC/MF)를
6. 하부 조직
6.1 공기 압축 벨브 통제 시스템
6.2 찬물 체계 물 교류 관과 스위치 벨브 체계
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