실험실 자전관 침을 튀기기 진공 코팅 체계
1. UHV 침을 튀기 체계는으로 갖춰집니다
2. UHV 침을 튀기기 시스템 응용의
유리, 세라믹스 및 다른 절연성 물자에 전도성 코팅의 신청.
3. 기술적인 성과:
3. 1개의 궁극적인 진공 압력: 5.0×10-6 Torr 보다는 나아지십시오.
3. 2. 작동 진공 압력: 1.0×10-4 Torr.
3. 3. Pumpingdown 시간: 1 atm에서 1.0×10-4 Torr≤에 3 분 (건조한 실내 온도는, 약실을 청소하고 비웁니다)
3. 4. 물자 (침을 튀기는) 알루미늄, 크롬, Sn, 티타늄, SS, Cu… 등을 금속을 입히기.
3. 5. 작동 모형: 수동의 가득 차있는 자동적으로 /Semi-Auto/
4. 구조
UHV 침을 튀기 진공 코팅 기계는 아래에 리스트 된 열쇠 완비 체계를 포함합니다:
1. 진공 약실
2. Rouhging 진공 펌프 체계 (역행 펌프 포장)
3. 높은 진공 펌프 체계 (유포 펌프)
4. 전기 통제와 가동 체계
5. Auxiliarry 시설 체계 (하부 조직)
6. 공술서 체계
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