EMI 실드 막 증착 기계, 다중기능 열 증착과 디씨 스퍼터링 코팅 시스템
개요 :
RTEP1616-SPDC 진공 메탈라이징 기계는 특별히 넓게 통신 장비, 컴퓨터, 노트북, 가전제품, 가전 제품, 우주와 군사력 품목을 사용한 박막 증착을 보호하는 EMI를 위해 설계됩니다.
우리의 고객들은 다음과 같습니다 : 섬그성, 애플, 레노버, 화웨이 전자공학 제품.
챔버 사이즈 지름 1600 밀리미터와 높이 1600 밀리미터는 다양한 제품을 수용할 수 있습니다.
박막 특성을 보호하는 EMI
1) 막두께 : 1.5 ~ 3 마이크론은 요구조건에 의존합니다.
2) 막 저항값 : 0.5Ω보다 더 좋은 (오옴)
3) 접착 : 3M810 tape > 5B
EMI 실드 필름 코팅 처리
4) 스테인레스 강을 스퍼터링시키는 DC
5) 열 증착에 의한 구리 증착량
6) 디씨 스퍼터링 스테인레스 강, Cu 필름층 위의 가득 찬 커버.
메탈라이저 특징을 보호하는 전자기 간섭
1) 2가지 도어 구조와 높은 생산성을 위한 빠른 펌프의 배기속도
2) PLC 제어로 우호적 터치 스크린 패널을 조작하기
3)안정적인 생산과 고급 품질을 위한 인류 편의 소프트웨어 프로그램 설계.
4) 높은 스퍼터 표적 활용률은 저생산비용을 보증합니다.
5) 좋은 균일성 & 양호한 접착
6) 생산 효율과 자격 있는 비율을 향상시키기 위한 더 좋은 성능을 위한 최신 설계 개념.
7) 접착을 향상시키기 위한 플라즈마 세정과 표면 활성도 치료를 위한 이온원 장치.
PVD 진공 금속 도금 장점 :
마무리는 환경적으로 우호적 그린 프로세스, 자유로운 오염을 사용하여 맡겨집니다 ;
고효율과 우수한 균일성.
많은 양 생산, 저비용, 대량 생산 수요를 위한 이상 해결책.
EMI 코팅성
코팅 물질 : Ni, Cr, Cu, 스테인레스 스틸 소재.
막두께 : 1.5 ~ 3 마이크론은 요구조건에 의존합니다.
막 저항값 : 0.5Ω보다 더 좋은 (오옴)
접착 : 3M810 tape > 5B
타이핑하세요 :
기술적 요구 :
1. 최종 진공 압력 : 5.0×10-6 토르보다 더 좋습니다.
2. 진공압을 운영하는 것 : 1.0×10-4 토르
3. 한가한 시간 노력하는 것 : 1 atm에서 1.0×10-4 Torr≤5 분 (실온, 마르고 깨끗하고 비어 있는 챔버)
4. 금속화 재료 (증발) : 스테인레스 강, 구리
5. 운영 모델 : 매우 자동적으로 /Semi-Auto/ 손으로
진공 코팅기기는 아래 목록화된 주요한 완료된 시스템을 포함합니다 :
1. 진공 챔버
1.1 분류하세요 : 내경 1600 밀리미터
내부 높이 : 1600 밀리미터
유용한 높이 : 1265 밀리미터
전체 높이 : 1420 밀리미터
1.2 재료 : 진공 챔버 SUS304
문과 플랜지 SUS304
챔버는 구조를 강화합니다 : 색칠한 마감면 처리로, SS41 연강.
색칠한 마감면 처리와 챔버 샤시 SS41 연강.
1.3 스퍼터링과 증착 테이프 : SUS304
1.4 뷰 윈도우 : 챔버 도어에
1.5 (사일런서를 포함하여) 진공 챔버 배기 밸브
1.6 문 : SUS304 재료 지름 1600 밀리미터 내부 높이 : 1600 밀리미터
1.7 기탁 구동 시스템 : 중심 구동 최대. 1400mm*1265mm
1.8 구동 모터 : 1/2HP
1.9 증발력 : 1개 세트 / 문
디씨 스퍼터링 전원 : 1개 세트
스퍼터링 캐소드 사이즈 : 125*1400mm
2. 루하그링 진공 펌프 장치
2.1 오일은 로터리 베인 진공 펌프를 밀봉했습니다 - 레이볼드
a : 펌프의 배기속도 : 640 m3/hr
2.2 루츠 펌프 - 레이볼드
a : 펌프의 배기속도 :4400 m3/hr
2.3 진공관을 거칠거칠하게 하는 것 : 공기 모델
2.4 진공 유도관 라인 : 6와 8개 SUS304 재료
2.5 진공 벤팅 밸브 : 전자기 모델 3/8명 "
3. 높은 진공 펌프 장치
3.1 오일 확산 펌프 : RTDP-36
a. 펌프의 배기속도 : 40000L/S
비. 최종 진공 압력 : 10-7 토르보다 더 좋습니다.
Ｃ. 히팅 파워 : 3Phase, 21KW.
Ｄ. 오일 소모 : 9 리터
3.2 냉각 포집기 : 36 ", 기름 스트림 역에 대한 물 냉각
3.3 고진공 밸브 : 공압
3.4 앞부분 선 밸브 : 공압
4. 전기 제어와 운영 시스템
4.1 기간 회로 : 없음 퓨즈 개폐기 스위치, 전자 개폐기,
C/T는 연속하여 타이핑합니다
4.2 증발력
4.3 증발 제어 시스템
4.4 스퍼터링 파워, DC 모델
4.5 제어 시스템 : PLC +Touch는 손으로 자동차 /를 지킵니다
4.6 운영 시스템 : 터치 스크린 + 디스플레이
4.7 진공 압력 측정 시스템
진공 게이지 : 레이볼드 센터 2 - 1개 세트
전체 범위 계측기 : 760 토르 ~ 10-7 토르 - 1개 세트
4.8 경보 시스템 :
압축 공기 압력은 하락합니다 : 경보 음
냉각수 순환량은 하락합니다 : 경보 음
오조작 : 경보 음
4.9 동력 부하 지표 : 전압 표시부와 로드 전류표시기
5. 서브시스템
5.1 항공 압축된 밸브 제어 시스템
5.2 냉각수 시스템 : 수류 파이프와 스위치 밸브 시스템
5.3 폴리콜드 (-120~-145C) 저온펌프 - 1개 세트
모형을 만드세요 : 맥스쿨- 2500L
최대 적재량 : 다음 2500W
펌프의 배기속도 : 14000L/S.
6. 증착 시스템
6.1 비산 소스
a. 스퍼터 표적 " 125mm*1400mm* 12~14mm - 1개 세트
비. 셔터 - 1개 세트
Ｃ. 질량 유량 제어기 : 아르곤 가스 - 1개 세트
Ｄ. 스퍼터링 파워 공급 : DC 60KW - 1개 세트
6.2 증발원들
a. 텅스텐 증발원들
비. 증발 전원 공급기 : 20kVA
Ｃ. 이온원 장치와 전원 공급기
압축된 공기 : 5~8kg/cm2
냉각수 : 물 유입 온도 : 20~25C, 200 리터 / 분,
물 유입 압력 : 2~3 kg/cm2
전원 : 3 단계 380V 50Hz(60Hz), 160kVA
설치 영역 : (L*W*H) 6500*5500*2700mm
배출 : 기계 펌프를 위한 배출구
우리는 고객 생산 요구 조건을 만나는 다른 3D 부분을 위한 가장 적당한 코팅 공정을 설계하고 개발하기 위해 노력되었습니다. 그래서 우리는 EMI 코팅에게 전체 코팅액을 제공합니다.
주문 제작된 코팅 시스템이 미안하지만, 요구되면 당신의 생각과 아이디어를 팀과 공유하고 당신의 제품 상술을 제출하세요 그러면 우리는 함께 최고의 해결책을 분류하기 위해 일할 것입니다.
EMI 코팅 서비스는 이용 가능하고, EMI 코팅기기입니다
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