December 11, 2017
1. 침을 튀기 공술서는 육체적인 침을 튀기 과정에 의해 “침을 튀기 표적이라고 칭하는,” 표면에서 기체화된 입자의 공술서입니다.
2. 육체적인 침을 튀기는 것은 표면 원자가 보통 플라스마에서 가속된 기체 이온인, 정력적인 포격 입자에서 운동량 전달에 의해 육체적으로 분출되는 비열 증발 과정입니다.
3. 침을 튀기십시오 공술서를 진공 또는 낮 압력 가스에서 미리 형성될 수 있습니다 (< 5="" m="" Torr="">
공술서가 이점에 의하여의 침을 튀깁니다
1. 성분, 합금 및 화합물은 침을 튀기고 예금될 수 있습니다.
2. 침을 튀기 표적은 안정되어 있는, 장명한 증발 근원을 제공합니다.
3. 몇몇 윤곽에서 침을 튀기 표적은 어떤 모양든지의 일 수 있는 큰 부위 증발 근원을 제공합니다.
4. 몇몇 윤곽에서는 침을 튀기 근원은 콘의 선 세그먼트와 같은 정의한 모양 일 수 있습니다.
5. 몇몇 윤곽 민감하는 공술서에서 쉽게 플라스마 (i.e “민감하는 공술서를 침을 튀기십시오 ") “에서 활성화되는” 민감하는 기체 종을 사용하여 달성될 수 있습니다
공술서가 불리에 의하여의 침을 튀깁니다
1. 침을 튀기 비율은 열 증발에서 달성될 수 있는 그들과 낮게 비교됩니다.
2. 영화 재산은 예금 물자의 유출의 “각의 부각에” 달려 있고 저압으로 고에너지 중립국에게서 사격 양은 침을 튀기 표적에서 반영했습니다.
3. 많은 윤곽에서는 공술서 유출 배급은 비균일 이어, 획일한 간격 및 재산의 영화를 얻기 위하여 기질의 위치를 무작위로 고르는 fixturing를 요구하.
4. 침을 튀기 표적은 수시로 비싸, 물자 이용은 빈약할지도 모릅니다.
5. 몇몇 윤곽 기체 오염에서는 쉽게 체계에서 제거되지 않으며, 기체 오염은 플라스마에서 “활성화되”, 진공 증발에서 보다는 문제의 따라서 영화 오염에게 더 많은 것을 만드.
6. 플라스마 침을 튀기 표적에서 몇몇 윤곽 방사선과 사격에서 기질을 타락할 수 있습니다.
7. 공술서를 건축 유리에 반도체 물자, 코팅, 콤팩트 디스크에 사려깊은 코팅, 자석 영화, 건조하 영화 윤활유 및 장식적인 코팅에 박막 금속화를 예금하기 위하여 널리 이용됩니다 침을 튀기십시오.
침을 튀기기 방법
DC/MFSputtering 침을 튀기기
침을 튀기고는/Unbalaced 침을 튀기기 균형
침을 튀기기 코팅 체계
유리, 애완 동물 영화 등에 낮은 E, ITO 영화 코팅을 위한 coaters 그리고 인라인 침을 튀기 코팅 체계를 1회분으로 처리하십시오.
