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로얄 RTAC950-SP 멀티 프로세스 스프터링 코팅 시스템으로 연구실의 얇은 필름 연구를 혁신하십시오.

로얄 RTAC950-SP 멀티 프로세스 스프터링 코팅 시스템으로 연구실의 얇은 필름 연구를 혁신하십시오.

2025-12-28

물질과학, 광학 및 표면 공학의 역동적인 세계에서 다재다능하고 신뢰할 수있는 실험실 장비가 단순히 장점일뿐만 아니라 필수입니다. For research teams exploring advanced coatings—from ultra-hard DLC films to high-reflectivity optical layers—the challenge often lies in finding a single deposition system that offers both flexibility and precision로얄 RTAC950-SP, 연구개발을 위해 특별히 설계된 최첨단 다기능 진공 코팅 기계입니다.중기동/동류 스프터링 카토드와 선형 이온 소스를 통합하여 전례 없는 실험 가능성을 열어줍니다..

왜 연구실용으로 모듈형, 멀티 프로세스 시스템을 선택해야 할까요?

전통적인 단일 프로세스 코팅은 혁신을 제한할 수 있으며 연구자들이 다른 방식으로는 아니라 장비의 능력에 따라 프로젝트를 조정하도록 강요합니다.로얄 RTAC950-SP는 모듈형 "플러그 앤 플레이" 아키텍처로 이러한 제약을 깨뜨립니다.표준화 된 장착 플랜지는 Gencoa 매그네트론 스프터링 카토드, 아크 증발 소스 및 선형 이온 소스 어셈블리의 신속하고 쉬운 교환을 허용합니다.이것은 당신의 실험실 PVD 딱딱한 코팅을 간편하게 전환 할 수 있음을 의미합니다, PECVD 프로세스, DLC / 다이아몬드 같은 탄소 필름 및 여러 전용 기계에 투자하지 않고 방출 된 광학 코팅.비교 연구 및 차세대 다층 또는 복합 필름 개발의 궁극적인 도구입니다..

성능 과 단순성 을 위해 설계 된 것

그 핵심은 RTAC950-SP가 엄격한 연구 조건에서 견고하고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 만들어졌습니다.

  • 우수한 진공 기반: ≤ 3.0 * 10−2 Pa의 기본 압력 및 8.0 * 10−4 Pa보다 나은 최종 진공을 달성하여 시스템은 깨끗한,고순도 필름 성장에 필수적인 오염물질 없는 환경급속한 펌프 다운 사이클 (≤15 분 1.0 * 10-3 Pa까지) 은 생산적인 실험실 시간을 최대화합니다.
  • 정밀 프로세스 제어: PLC + 터치 스크린 자동화 시스템 (미쓰비시 PLC 및 슈나이더 / Omron 구성 요소를 갖춘) 을 갖추고, 코팅은 완전 자동, 반 자동,수동 작동 모드그 요리 관리 시스템은 자동으로 모든 중요한 매개 변수를 기록합니다상세한 분석과 완벽한 프로세스 복제를 위해 코팅 시간.
  • 탄탄한 퇴적 능력: ITO, Ti, Cr, Al, 또는 TiAl 같은 합금 표적에서 스프터링을 하거나 밀도가 높은 금속 필름에 대한 아크 카토드를 사용하든통제된 퇴적통합 된 선형 이온 소스는 더 밀도가 높고 더 끈적 인 코팅을 위해 이온 보조 퇴적 (IAD) 을 가능하게하고 고급 PA PVD 및 PECVD 프로세스를 촉진하는 게임 변경자입니다.
  • 사용자 중심 설계: SUS304 스테인리스 스틸로 제작된 듀얼 도어 (전과 후) 챔버 디자인은 샘플 로딩, 고정 장치 변경 및 유지 보수에 특별한 접근성을 제공합니다.종합적인 안전 잠금 시스템은 운영자와 장비 모두를 보호합니다..
주요 사양
  • 방 내부 차원: Ø950mm (D) x 1350mm (H)
  • 가열: 500°C까지 샘플을 가열
  • 전원 공급 장치: 통합된 MF/DC 스프터링, DC 아크, bias 전원 공급 장치.
  • 모니터링: 정밀한 가스 제어를 위해 전체 범위 진공 측정기, 열 쌍 및 4 채널 MFC.
  • 발자국: 약 4400 x 3200 x 2950 mm, 효율적인 실험실 공간 활용을 위해 설계되었습니다.
최첨단 연구의 광범위한 응용

RTAC950-SP는 광범위한 응용 분야를 위해 이상적인 실험실 얇은 필름 퇴적 시스템입니다:

  • 기능 및 보호 코팅: 도구 및 부품에 대한 마모 저항성, 부식 저항성 단단한 코팅을 개발합니다. 검정, 장미 금,또는 파란색.
  • 광학 및 반도체 필름: 고 반사성, 반사성 또는 전도성 투명한 광학 얇은 필름을 입금합니다.
  • 첨단 탄소 필름: DLC 및 다이아몬드와 같은 탄소 필름의 특성을 연구하고 최적화하여 생의학, 자동차 또는 트리보로지 응용 프로그램을 사용합니다.
  • 기본 연구 개발: 유연성 때문에 새로운 코팅 아키텍처의 프로토타입을 만들고, 필름 성장 메커니즘을 연구하고, 새로운 재료 조합을 테스트하는 데 적합합니다.
왕실 이점: 단순한 기계 보다 더

로열을 선택하는 것은 전담 솔루션 공급자와 파트너십을 맺는 것을 의미합니다.

  • 종합적인 지원: 기계 운영 및 유지보수에서 코팅 프로세스 레시피 및 프로그래밍에 대한 심도있는 교육까지.
  • 글로벌 서비스 네트워크: 유럽 (폴란드), 중동 (이란, 터키), 인도, 남미 (멕시코) 에 지원 센터가 있습니다.
  • 보증 및 사용자 정의: 1 년 무료 제한 보증 및 평생 기계 보증에 의해 지원됩니다. 우리는 또한 사용자 정의 설계 솔루션에 대한 OEM & ODM 서비스를 제공합니다.
  • 전 세계 배송: 안전한 장거리 해상/공중 운송을 위한 수출 표준에 맞게 포장됩니다.
오늘날 연구 를 강화 하라

장비의 한계가 당신의 연구의 범위를 결정하게 하지 마십시오.로얄 RTAC950-SP 다기능 연구개발 코팅 시스템은 실험실 스프터링 코팅 시스템 이상입니다.

당신의 얇은 필름 연구 능력을 변화시킬 준비가 되셨습니까?그리고 우리의 포괄적인 코팅 솔루션이 발견의 길을 가속화 할 수 있습니다함께 표면 공학의 미래를 만들어 봅시다.