October 11, 2022
R&D 다기능 코팅 장비
기계 모형:Multi950-R&D
기술:PVD+PECVD
건설 시간:2015년
위치:중국 상하이
설치 및 테스트:5 일
시운전 및 교육:3 일
디자인 특징
1. 유연성: 아크 및 스퍼터링 음극, 이온 소스 장착 플랜지는 유연한 교환을 위해 표준화되었습니다.
2. 다양성: 다양한 비금속 및 합금을 증착할 수 있습니다.금속 및 비금속 재료 기판의 광학 코팅, 하드 코팅, 소프트 코팅, 복합 필름 및 고체 윤활 필름.
3. 스트레이트 포워드 디자인: 2 도어 구조, 쉬운 유지 보수를 위한 전면 및 후면 개방.
Multi950 기계는 R&D를 위한 맞춤형 다중 기능 진공 증착 시스템입니다.Chen 교수가 이끄는 Shanghai University 팀과의 반년 간의 토론을 통해 우리는 마침내 R&D 응용 프로그램을 충족시키기 위한 설계와 구성을 확인했습니다.이 시스템은 PECVD 공정으로 투명 DLC 필름, 공구에 하드 코팅, 스퍼터링 캐소드로 광학 필름을 증착할 수 있습니다.이 파일럿 기계 설계 개념을 기반으로 우리는 그 후 3가지 다른 코팅 시스템을 개발했습니다.
1. 연료전지 전기차용 바이폴라 플레이트 코팅-RT1200-FCEV
2. 세라믹 직접 도금 구리 - RT1200-DPC
3. 유연한 스퍼터링 시스템 - RTSP1200-PCB
이 4가지 모델의 기계는 모두 Octal 챔버가 있으며 유연하고 안정적인 성능은 다양한 응용 분야에서 광범위하게 사용됩니다.Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS 및 기타 많은 비 강자성 금속과 같은 다양한 금속 층이 필요한 코팅 공정을 충족합니다.플러스 이온 소스 장치는 플라즈마 에칭 성능과 일부 탄소 기반 층을 증착하는 PECVD 공정으로 다양한 기판 재료에 대한 필름 접착력을 효율적으로 향상시킵니다.
RT1200-PCB
RT1200-DPC (Ceramic/ Al2O3, AlN에 직접 도금 구리)
RT1200-FCEV
Multi950은 Royal Tech의 고급 디자인 코팅 시스템의 이정표입니다.여기에서 상하이 대학교 학생들과 특히 Process Yigang Chen, 그의 창의적이고 사심 없는 헌신에 무한한 가치를 부여하고 우리 팀에 영감을 주셔서 감사합니다.
2018년에 우리는 유도 열 증발 방식에 의한 C-60 재료 증착인 Pressor Chen과 또 다른 프로젝트 협력을 했습니다.모든 혁신적인 프로젝트에 대한 Mr. Yimou Yang과 Chen 교수의 지도와 지도에 감사드립니다.
자세한 내용은 저희에게 연락하십시오.
