세라믹 PVD 코팅 장비 특징:
1. 진공 약실은 수직 1개의 열린 문, 304 스테인리스 제조, φ1400mm-Φ2000mm에서 진공 약실 내경입니다;
2. 로터리 베인 펌프, 루츠 펌프 및 오일 확산 펌프 또는 분자 펌프 구성에 의한 진공 시스템;
3. 코팅 시스템은 1-2개의 중간 주파수 자기를 사용하여 스퍼터링 전원을 제어하고 1-2쌍의 비평형 자기를 사용하여 대상을 제어하며 14-40개의 아크 소스를 사용합니다.
4. 고효율 펄스 바이어스 전원;
5. 가스화 시스템은 국내 생산 또는 수입 가스 질량 유량계, 가스 유량 제어(실증) 미터를 사용합니다.
6. 전기 제어 시스템 구축 전기 회로 과부하, 급수 차단, 음향 광학 경보 장치 사망;
7. 제어 시스템(터치 스크린 + PLC), 실시간 디스플레이 세부 매개변수, 전체 생산 공정을 완전 자동 제어 및 자동 메모리 기술 매개변수.
PVD 코팅 장비 - RTAC1618 사양
| 모델 | RTAC1618 | ||
| 재료 | 스테인리스강(S304) | ||
| 챔버 크기 | Φ1600*1800mm(H) | ||
| 펌프 시스템 | 로터리 피스톤 진공 펌프(기계식) | ||
| 로터리 베인 진공 펌프(홀딩) | |||
| 뿌리 진공 펌프 | |||
| 확산 펌프 | |||
| 기술 | 이온 도금(다중 아크 소스) | ||
| 일반적인 목표 | 크롬, 티타늄, 지르코늄, TiAl | ||
| 가스 | 가스 질량 유량계( Ar, N2,) 아르곤, 질소 | ||
| 제어 | PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러) | ||
| 안전 시스템 | 작업자와 장비를 보호하기 위한 다수의 안전 인터록 | ||
| 냉각 | 냉각수 재활용 | ||
| 난방 | 히터, 최대 300℃ | ||
| 파워 맥스. | 150KW(약) | ||
| 평균 전력 소비 | 70KW(약) | ||
세라믹 PVD 코팅 장비이온 플레이팅 기술을 적용하여 티타늄, 크롬 등의 고체 금속을 음극 아크 소스로 증발시키고 이온화된 금속을 제품 표면에 응축시켜 고진공 환경에서 나노 박막을 생성합니다.다음과 같은 반응성 가스로 다양한 색상을 생성하는 질소.
기타 맞춤형 기계 크기는 지정된 제품 치수 및 용량 요구 사항에 따라 사용할 수 있습니다.
모델 | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| 약실 내부 크기 | 1000x800mm | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600mm | ||||||
| 전원 유형 | 아크 전원, 필라멘트 전원, 펄스 바이어스 전원 | ||||||||||
| 진공 챔버의 구조 | 수직형 전면 도어 구조, 후면 배기 시스템 및 이중층 수냉식 챔버 | ||||||||||
| 진공 챔버의 재질 | 스테인리스 스틸 304/316L | ||||||||||
| 궁극의 진공 | 6.0x10-4Pa (언로딩, 세척, 건조 챔버) | ||||||||||
| 진공 펌핑 속도 | 대기에서 8.0*10-3Pa ≤15분까지 | ||||||||||
| 진공 펌핑 시스템 | 확산 펌프 또는 분자 펌프 + 루츠 펌프 + 기계식 펌프 + 홀딩 펌프 (특정 모델은 고객 요구 사항에 따라 선택 가능) | ||||||||||
| 아크 소스 | 6개 단위 또는 8대 | 8단위 또는 10대 | 10단위 또는 12대 | 14개 단위 또는 16대 | 16개 단위 또는 18대 | ||||||
| 바이어스 전원 공급 장치 | 20KW/세트 | 20KW/세트 | 30KW/세트 | 40KW/세트 | 50KW/세트 | ||||||
| 운전 모델 | 유성 회전 및 회전, 가변 주파수 속도 조절 (제어 및 조정 가능) | ||||||||||
| 난방 시스템 | 실내 온도에서 450°C까지 제어 및 조절 가능 (PID 온도 제어) | ||||||||||
| MFC | 3-경로 또는 4-경로 공정 가스 흐름 제어 및 표시 시스템, 선택적 자동 가스 공급 시스템 | ||||||||||
| 냉각 시스템 | 물 순환 냉각 모드, 냉각수 타워 또는 산업용 냉각기 또는 심층 냉각 시스템.(고객 제공) | ||||||||||
| 제어 모드 | 수동/자동 통합 모드, 터치 스크린 작동, PLC 또는 컴퓨터 제어 | ||||||||||
| 총 전력 | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| 경보 및 보호 | 물 부족, 과전류 및 과전압, 개방 회로 및 기타 펌프, 타겟 등의 이상 상태를 경보하고 관련 보호 조치 및 전기 인터록 기능을 실행합니다. | ||||||||||
| 장비 영역 | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | 폭5m*L7m | ||||||
| 기타 기술 매개변수 | 수압 ≥0.2MPa, 수온 ≤25°C, 기압 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| 비고 | 코팅 장비의 특정 구성은 코팅 제품의 공정 요구 사항에 따라 설계될 수 있습니다. | ||||||||||
세라믹 파일 PVD 코팅 샘플
자세한 사양은 당사에 문의하십시오. Royal Technology는 귀하에게 토털 코팅 솔루션을 제공하게 된 것을 영광으로 생각합니다.
