밝기 조명 DPC 요업이 보석 반지 진공증착, Al2O3 / AlN 회로판 PVD 구리 도금
성능
1. 최종 진공 압력 : 5.0×10-6 토르보다 더 좋습니다.
2. 진공압을 운영하는 것 : 1.0×10-4 토르.
3. 펌핑다운 타임즈 지 : 1 atm에서 1.0×10-4 Torr≤ 3 분 (실온, 마르고 깨끗하고 비어 있는 챔버)
4. 금속화 재료 (스퍼터링 + 아크 증발) : Cu, Ag, Au, Ti, 즈르, Cr 기타 등등인 Ni.
5. 운영 모델 : 매우 자동적으로 /Semi-Auto/ 손으로
구조
진공 코팅기기는 아래 목록화된 주요한 완료된 시스템을 포함합니다 :
1. 진공 챔버
2. 루하그링 진공 펌프 장치 (지원하는 펌프 패키지)
3. 높은 진공 펌프 장치 (마력적으로 중단 분자 펌프)
4. 전기 제어와 운영 시스템
5. 오일리아르리 설비 시스템 (서브 시스템)
6. 증착 시스템
구리 스퍼터링 코팅기기 키특성
1. 8 정보 아크 음극과 DC가 음극, MF 스퍼터링 캐소드, 이온 소스 부대를 스퍼터링시키면서 설비됩니다.
2. 이용 가능한 다층과 공동 증착 코팅
3. 필름 접착성을 강화하기 위한 플라스마 세정 전처리와 이온-빔 조력 침식을 위한 이온 소스.
4. 유닛을 데우는 Ceramic/ Al2O3/AlN 기판 ;
5. 1 측면 코팅과 2가지 측면 도료를 위한, 기판 회전과 선회 시스템.
요업 방사용 기판에 코팅 플랜트를 스퍼터링시키는 쿠퍼 마그네트론
DPC 과정 직접적 도금처리하는 구리는 LED / 반도체 / 전자 업계로 적용된 진보적 도포 기술입니다. 한 전형적인 애플리케이션은 요업 방사용 기판입니다.
PVD에 의한 질화알루미늄 기판인 Al2O3 위의 쿠퍼 전도성 필름 증착은 종래 제법과 비교하여 스퍼터링 기술을 진공기기로 청소합니다 : 매우 낮은 생산비인 DBC LTCC HTCC는 그것의 높은 특징입니다.
왕족 기술 팀은 우리의 고객을 원조했고에게 PVD 스퍼터링 기술로 성공적으로 DPC 과정을 개발했습니다.
RTAC1215-SP 기계는 세라믹 칩, 세라믹 회로 기판 위의 구리 전도성 있는 필름 코팅의 독점적으로 설계를 했습니다.
어떻게 PVD 코팅이 일합니까?
고체 금속은 높은 진공 환경에서 기화시키거나 이온화되고, 순금속 또는 금속 합금막으로서 전기적 전도 물질에 침적되었습니다. 질소, 산소 또는 탄화수소-기반 가스와 같은 반응 기체가 금속 증기에 도입될 때, 그것은 질화물 또는 산화물 또는 탄화물 코팅을 금속성 증기 흐름으로 만들고 화학적으로 기체와 반응합니다. 기화 물질이 그렇지 않았다면 공간에서 참석할 어떠한 불순물과도 반응하지 않도록 PVD 코팅은 전문화된 반응 용기에서 행해져야 합니다.
PVD 도료의 과정 동안, 결과로 생기는 막경도, 접착, 내약품성, 막 구조와 다른 특성이 각각 실행을 위해 반복할 수 있도록 공정 파라미터는 밀접하게 모니터링되고 제어됩니다. 다양한 PVD 도료는 마모 방지를 증가시키고, 마찰을 감소시키고, 출현을 향상시키고 다른 성능 강화를 달성하는데 사용됩니다.
티타늄 또는 크롬 또는 지르코늄, 은, 금, 알루미늄과 같은 높은 순도 소재를 맡기고 구리도금하기 위해, 다음을 포함하여 스테인레스 강, PVD 코팅의 물리적 과정은 여러 다양한 PVD 도포 방법 중 하나를 이용합니다 :
아크 증발
열 증착
DC / MF 스퍼터링 (이온의 충격)
이온 빔 증착
이온 도금법
강화한 스퍼터링
더 많은 상술을 위해 우리에 연락하시오 그러면 왕족 기술은 당신에게 전체 도료 솔루션을 제공하는 것을 영광으로 생각합니다.
