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과학 기술: | 아크 이온 도금 + PVD 침을 튀기기 공술서 | 표적: | TiAl, Ta, Ni, 크롬, 티타늄, Au, Ag, SS, Cu, Zr, 알루미늄 등. |
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등록: | 높은 수확량, 높은 균등성, 높은 표적 이용 | 응용 프로그램: | 다수 층은 공술서를 촬영합니다 |
장점: | 환경에 친절한 작동 과정 | ||
하이 라이트: | vacuum coating plant,high vacuum coating machine |
탄탈 PVD 침을 튀기기 코팅 기계, 침을 튀기는 DC 자전관, PVD 탄탈 도금에 의해 예금되는 탄탈 영화
탄탈은 부식에 그것의 좋은 저항 때문에 전자 공업에서 그리고 많은 기업에 있는 방어 코팅으로 널리 이용됩니다.
침을 튀긴 탄탈 영화는에서 널리 이용됩니다
1. 영화로 마이크로 전자공학 기업은 민감하 침을 튀기골 이렇게 저항의 저항력 그리고 온도 계수는 통제될 수 있습니다;
2. 그것의 높게 biocompatability 재산을 위한 몸 임플란트 같이 의료 기기;
3. 부식에 코팅 - thermowells 벨브 몸통 및 잠그개와 같은 저항하는 부분;
침을 튀긴 탄탈은 defectected 효과적인 내식성 장벽으로 보호하기 위하여 코팅이 지속적인 경우에 사용되고 기질에 부착합니다 예정됩니다 또한 일 수 있습니다.
왕 기술은 2 고객 신청을 위한 모형 PVD 자전관 침을 튀기 체계를 독점적으로 디자인하고 건설했습니다.
RTAS1200와 RTAS1000 모형.
Ta 침을 튀기기 공술서 기계 설계 특징:
튼튼한 디자인, 안정되어 있는 질, 빠른 주기, 빠른 주기 시간, 높은 공술서 속도
주요 윤곽 | |
모형 | RTSP1000 |
기술 | 침을 튀기는 DC 자전관 + 음극 아크 도금 |
약실 물자 | 스테인리스 (S304) |
약실 크기 | Φ1000*1600mm (h) |
약실 유형 | D 모양, 원통 모양 약실 |
교체 선반 & 지그 체계 | 인공위성 몰거나 중앙 드라이브 시스템 |
전력 공급 | DC 침을 튀기기 전력 공급: 2~4 세트는 전력 공급을 기울게 합니다: 1개의 고정되는 아크 전력 공급: 11 세트 |
공술서 물자 | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu 등. |
공술서 근원 |
평면 침을 튀기기 음극선 + 원형 아크 음극선 말: cylinderial DC는 유효합니다 침을 튀깁니다 |
통제 | PLC (풀그릴 논리 관제사) + 터치스크린 (manual+ auto+ 반 자동 가동 모형) |
펌프 체계 | 회전하는 바람개비 펌프: SV300B - 1 세트 (Leybold) |
뿌리 펌프: WAU1001 - 1 세트 (Leybold) | |
펌프를 붙들기: D60C - 1 세트 (Leybold) | |
자석 중단 분자 펌프: MAG2200 - sest 2 (Leybold) | |
가스 질량 흐름 관제사 | 4개의 수로, 중국제, 7개의 별 (CS 시리즈,) 디지털 방식으로 모형 (Ar의 N2, O2, C2H2) |
진공 계기 | 모형: ZDF-X-LE, 중국제 |
안전 시스템 | 통신수와 equipmen를 보호하는 수많은 안전 내부고정기 |
가열 | 히이터: 20KW. 최대. 임시 직원.: 450℃ |
냉각 | 산업 냉각장치 (냉수) |
힘 MAX. | 100KW (대강) |
평균 일률 소비 | 45 KW (대강) |
총중량 | T (대강) |
발 인쇄 | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
전기 힘 | AC 380V/3 phases/50HZ/5 선 |
원통 모양 침을 튀기기 음극선 평면 침을 튀기기 음극선
명세 더를 위해 저희에게, 왕 기술 당신에게 총 코팅 해결책을 제공하기 위하여 명예를 줍니다 연락하십시오.
소책자를 다운로드하고십시오, 여기에서 누르십시오: 자전관 침을 튀기기 공술서 System.pdf
자전관 침을 튀기기 공술서 체계 applicatio…