기술적 배경
RTSP1200-PCB 기계는 마그네트론 스퍼터링 증착 기술로 PCB 도금을 위한 맞춤형 설계 및 제작 장비입니다.
PCB 산업에 종사하는 모든 사람들은 표면에 구리 마감이 있는 PCB가 산화 및 열화로부터 보호하기 위해 보호 층이 필요하다는 것을 알고 있습니다. 한편 필름은 수명을 보장하기 위해 높은 경도와 내마모성을 가져야 합니다.
Royal Technology는 적절한 코팅 공정을 완성하기 위해 R&D에 6개월, 20회 이상의 실험을 보냈습니다.더 흥미로운 새로운 소식은 2020년 3월에 고객의 사이트에 대량 생산 기계를 납품하여 높은 성과를 거둔 것입니다.
주요 특징들
빠른 증착 속도를 위한 다중 증착 음극
짧은 주기를 위한 강력한 진공 펌핑 시스템
증착 필름의 접착력과 고밀도를 향상시키는 양극 선형 이온 소스
6개 표준 평면 음극 마운팅 플랜지
유연한 코팅 공정 적용
음극과 타깃의 빠른 교환을 위한 모듈식 구조 설계
평면 스퍼터링 음극
기술 사양
| 디설명 | RTSP1200-PCB |
| 장점 |
환경 친화적인 프로세스 기존의 금속 전기 도금 공정에 비해 훨씬 낮은 생산 비용 우수한 내식성 및 내마모성 고밀도 및 고균일성 필름 두께를 잘 제어할 수 있습니다. |
| 증착 필름 |
Au 금, Ag은, Cu 구리 전도성 계열 필름; 내식성 금속군: 탄탈륨(Ta), 니켈(Ni), 크롬(Cr), 지르코늄(Zr) 등 복합 필름: 탄소 기반 금속 필름, 질화물 금속 필름. |
| 증착 챔버 |
수직 방향의 실린더 챔버, 전면 개방 방식의 단일 도어 구조 챔버 내부 크기: φ1200 * H1500mm
|
| 적재량(최대) | 중앙 드라이빙 랙 시스템, Max 포함.φ1000mm *H1100 |
| 증착 소스 | 평면 스퍼터링 음극 4개 + 업그레이드용 마운팅 플랜지 1개 |
| 스퍼터링 증착력 | 최대30KW |
| 펄스 바이어스 전력 | 최대30KW |
| 발자국 (L*W*H) | 5000*5000*4500mm |
| 전력 소비 |
최대105KW 평균:50KW |
| 운영 및 제어 시스템 |
세륨 기준 미쓰비시 PLC+ 터치스크린 백업이 있는 운영 프로그램 |
이러한 구성은 특정 개발 시장 및 새로운 특수 코팅에 대한 표준이며 요청 시 맞춤형 구성 및 수정이 가능합니다.
6-RT1200-PCB- 마그네트론 스퍼터링 증착 장비자세한 내용은 여기에서 카탈로그를 다운로드하십시오.
고객을 위한 운영 및 코팅 공정 교육
