DLC 필름(Diamond - Like - Carbon)은 기계 부품, 자동차 베어링, 의료 기기, 군사, 항공 우주, 산업용 씰링 부품, 시계 등과 같은 높은 내구성 및 분마찰 계수.
PECVD + PVD 공정 DLC 코팅 기술은 가장 높은 표준 응용 프로그램을 충족시키기 위해 수년 동안 개발되었습니다.이 공정은 외부의 아름다움을 제외하고 제품 표면에 독특하고 완벽한 마무리를 제공합니다.
시계 DLC 박막 코팅기 사양
모델 | RTSP1010 | |||||||
기술 | PECVD 공정 - 마그네트론 스퍼터링 + 이온 소스 | |||||||
챔버 재료 | 스테인리스강(S304) | |||||||
챔버 크기 | Φ1000*1000mm(높이) | |||||||
챔버 유형 | 정팔면체실, 2도어 | |||||||
회전 랙 및 지그 시스템 | 6(8)위성, 최대.무게: 400kgs | |||||||
전원 공급 장치 | 수량스퍼터링의: 2*24 KW 전원 공급 장치의 바이어스: 1*24W 옵션 이온 소스 전원 공급 장치용 AE 전원 공급 장치 2 세트, 옵션용 AE 전원 공급 장치 | |||||||
증착 재료 | 크롬/C | |||||||
퇴적물 출처 |
2 쌍(4개) 스퍼터링 음극 + 2 이온 소스 코팅 영역: Dia800mm*H550mm; 균일성 면적: ±10~15% |
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제어 | PLC(Programmable Logic Controller) + 터치스크린 ( 수동 + 자동 + 반자동 작동 모델) | |||||||
펌프 시스템 | 로터리 베인 펌프: SV300B - 1세트(Leybold) | |||||||
루츠 펌프: WAU1001 - 1 세트(Leybold) | ||||||||
홀딩 펌프: D60C-1set-(Leybold) | ||||||||
마그네틱 로터 서스펜션 분자 펌프: MAG2200 - 2 세트(Leybold) | ||||||||
가스 질량 유량 컨트롤러 | 3채널, Made in America(MKS 브랜드) | |||||||
진공 게이지 | 모델: ZDF-X-LE, 중국산 | |||||||
선형 이온 소스 | 2개 전처리, 플라즈마 세척 + 보조 증착 | |||||||
안전 시스템 | 작업자와 장비를 보호하기 위한 다수의 안전 인터록 | |||||||
난방 | 히터: 20KW.최대온도: 400℃ | |||||||
냉각 | 산업용 냉각기(냉수) | |||||||
파워 맥스. | 100KW(약) | |||||||
평균 전력 소비 | 45KW(약) | |||||||
총 중량 | T(대략) | |||||||
발자국 | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MM | |||||||
전력 전기 | AC 380V/3상/50HZ |
자세한 사양은 당사에 문의하십시오. Royal Technology는 귀하에게 토털 코팅 솔루션을 제공하게 된 것을 영광으로 생각합니다.