자전관 침을 튀기 기술은 무엇입니까?
침을 튀기는 자전관은 PVD 코팅 기술의 또 다른 모양입니다.
플라스마 코팅
침을 튀기는 자전관은 침을 튀기 물자가 표적 표면에 이온의 사격 분출된 때문이 그것에 의하여 플라스마 코팅 과정입니다. PVD 코팅 기계의 진공 약실은 아르곤과 같은 비활성 기체로 채워집니다. 고전압을 적용해서, 미광 방전은 표적 표면 및 플라스마 코팅에 이온의 가속도의 결과로, 창조됩니다. 아르곤 이온은 표적 표면 (침을 튀기기)에서 표적의 앞에 제품에 침을 튀긴 입히는 층의 결과로 침을 튀기 물자를, 분출할 것입니다.
민감하는 침을 튀기기
분출한 물자 (민감하는 침을 튀기기)로 반작용할 아세틸렌 이용됩니다 질소와 같은 종종 추가 가스는. 침을 튀긴 코팅의 광범위는 이 PVD 코팅 기술에 성취할 수 있습니다. 자전관 침을 튀기 기술은 그것의 매끄러운 성격 때문에 decretive 코팅 (예를들면 티타늄, 크롬, Zr 및 탄소 질화물)를 위해 아주 유리합니다. 자전관 침을 튀기가 동일한 이점에 의하여 자동 시장 (예를들면 DLC 코팅 - 탄소 코팅 같이 다이아몬드도의 CrN, 크롬 2N andvarious 조합)에 있는 tribological 코팅을 위해 널리 이용되는 합니다.
자기장
침을 튀기는 자전관은 일반적인 침을 튀기 기술과 약간 다릅니다. 다름은 이온의 사격을 강화하는 표적의 앞에 플라스마를 지키기 위하여 자전관 침을 튀기 기술이 자기장을 이용하다 입니다. 높게 조밀한 플라스마는 이 PVD 코팅 기술의 결과입니다.
최대 침을 튀기기 힘 | |
간접적인 냉각된 표적 | > 20 와트/cm2 (DC) |
> 7개 와트/cm2 (RF) | |
출력 전압 | 100개에서 1500 볼트 |
방전 전류 | > 0.05 amps/cm2 |
운영 압력 | 0.05에서 5 Pa |
표적 이용 | > 35% |
표적 | |
모양 | 직사각형 평면 |
간격 | 6mm~16mm |
폭 | 125mm |
임명 | 내부/외부 |
자전관 침을 튀기 기술은 이 특징입니다: