자전관 스퍼터링은 넓게 탄탈, 티타늄, 텅스텐, 기탁의 초고온을 요구할 니오븀과 귀금속과 같은 내화 금속류를 맡기는데 사용됩니다 : 또한 있는고 구리, 알루미늄, 닉레, 크롬 기타 등등과 같은 낮은 융해점 금속의 기탁을 위해 사용한 금과 은.
탄탈은 가장 부식에 대한 그것의 적절한 저항 때문에 보호용 코팅으로서 전자 공업에서 사용됩니다.
분산된 탄탈 박막의 응용 :
1. 영화로서의 마이크로일렉트로닉스 업계는 레랙티브리 스퍼터링시킬 수 있고 그러므로 저항률과 저항의 온도계수가 제어될 수 있습니다 ;
기술적인 장점
왕족 기술의 표준화된 탄탈 스퍼터링 증착 장비 :
| 메인 구성 | |
| 모델 | RTAS1000 |
| 기술 |
펄시드 DC 마그네트론 스퍼터링 음극 방전 도금 (절차를 코팅함으로써 결정되는 옵션을 위해) |
| 챔버 물질 | 스테인레스 강 (S304) |
| 챔버 사이즈 | Φ1000*1000mm (H) |
| 챔버 타입 | Ｄ 형태, 원통형 챔버 |
| 회전 랙 & 지그 시스템 | 위성 구동 또는 중심 구동 시스템 |
| 전원 공급기 |
디씨 스퍼터링 전원 공급기 : 2~4 세트 이온 소스 : 1개 세트 |
| 피착 물 | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu 기타 등등. |
| 증착 소스 | 평면 스퍼터링 캐소드 + 원형 아크 음극 |
| 제어 | PLC (프로그램 논리 제어기) + IPC (manual+ auto+ 세미 오트 운영 모델들) |
| 펌프 시스템 | 로터리 베인 펌프 : SV300B - 1개 세트 (레이볼드) |
| 루츠 펌프 : WAU1001 - 1개 세트 (레이볼드) | |
| 고진공 유지 펌프 : D60C - 1개 세트 (레이볼드) | |
| 마그네틱 서스펜션 분자 펌프 : MAG2200 - 2 세스트 (레이볼드) |
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| 가스 흐름 조절부 | 2개 채널 : Ar와 N2 |
| 진공 게이지 | 인피콘 또는 레이볼드 |
| 안전 시스템 | 수많은 안전성은 운영자들과 장비를 보호하기 위해 맞물립니다 |
| 난방 | 히터 : 20KW. 맥스. 임시. 다음 450C |
| 냉각 | 산업적 냉각장치 (찬물) |
| 전원 맥스. | (대략적인 100KW.) |
| 평균 소비 전력 | (대략적인 45 KW.) |
| 총 중량 | Ｔ (대략적인.) |
| 발자국 | ( L*W*H) 4000*4000 *3600 MM |
| 전력 |
AC 380V/3 phases/50HZ / 5 라인 |
인사이트 :
조립된 타임즈 지 : 2018
위치 : 중국
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