RTAS 시리즈 금속 부품, 스테인리스 스틸 물체의 일반 흑연, 칠흑색, 파란색, 구리 및 청동 색상에 대한 통합 다중 증착 소스 기계입니다.특히 고급 고급 부품에 사용됩니다.
기준 애플리케이션
보석, 시계줄 및 본체, 스테인리스 스틸 스포츠, 필기구
가전제품: 휴대전화, 노트북, 카메라, 드론
원호 및 실린더 스퍼터링 증착 소스가 장착된 RTAS 기계.DC 스퍼터링, MF 스퍼터링, 아크 증발 및 이온 소스 등의 여러 조합. 모두 하나의 기계에서 사용할 수 있으므로 다양한 응용 분야를 만족시키는 구성의 높은 유연성을 제공합니다.특히 소형 부품의 미적 코팅: 제트 블랙, 구리, 황동 및 크롬 색상.
MF 스퍼터링이란?
DC 및 RF 스퍼터링과 비교할 때, Mid-Frequency 스퍼터링은 코팅의 대량 생산을 위한 주요 박막 스퍼터링 기술이 되었습니다. 특히 광학 코팅, 태양 전지 패널, 다층과 같은 표면에 유전체 및 비전도성 필름 코팅의 필름 증착을 위해 , 복합재료 필름 등
훨씬 빠른 증착 속도를 위해 MHz가 아닌 kHz로 작동하기 때문에 RF 스퍼터링을 대체하고 있으며 DC와 같은 복합 박막 증착 중에 Target 중독을 피할 수 있습니다.
MF 스퍼터링 타겟은 항상 2세트로 존재했습니다.두 개의 음극은 AC 전류가 앞뒤로 전환된 상태로 사용되어 각 반전으로 타겟 표면을 청소하여 유전체에 축적되는 전하를 줄여 플라즈마에 물방울을 뿜어내고 균일한 박막 성장을 방지할 수 있는 아크를 유발합니다. 우리가 표적 중독이라고 부르는 것.
기술 사양
| 아니요. | 이름 |
| 1 | 진공 펌핑 시스템 : 터보 분자 펌프 + 루츠 펌프 + 기계식 펌프 + 홀딩 펌프 |
| 2 | 진공 측정 시스템: Pirani + Penning 게이지 |
| 삼 | 가열 시스템: 접착력 향상을 위해 가열되는 기판용 히터 |
| 4 | 물/압축 공기 분배 시스템: 모듈식 설계 및 조립식 |
| 5 | 실린더 스퍼터링 음극: 옵션용 트윈 타겟 2/4/6/8 쌍 |
| 6 | 진공 게이트 밸브(옵션) |
| 7 | 전기 인클로저(CE 표준) |
| 8 | 진공 챔버(요청 시 SS304/316L) |
| 9 | 음극 아크 소스(기존 아크 음극) |
| 10 | View Port (증착실 내부 검사용 도어에 2개 분포) |
| 11 | 처리 가스 분배 시스템(4채널용 유량계) |
| 12 | 랙 구동 시스템(유성 구동 모델) |
| 13 | 회전 목마 |
| 설명 | RTAS1250 | RTAS1612 |
| 증착 챔버(mm) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
행성 운전 유효 코팅 면적(mm) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| 원형 아크 음극(세트) | 7 | 12 |
| 실린더 스퍼터링 음극(쌍) | 3/4 | 4 / 6 |
|
펄스 바이어스 전력 (KW) |
36 | 48 |
| DC/MF 스퍼터링 파워(KW) | 36 | 4*36 |
| 아크 전력(KW) | 7*5 | 12*5 |
| 진공 펌프 |
2* 터보 분자 펌프 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
3* 터보 분자 펌프 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| 최대전력 소비(KW) | 200 | 245 |
| 평균 소비 전력(KW) | <75 | <100 |
| 작업 공간(L*W*H) mm | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
유연한 구성: 코팅 공정 및 고객의 요구 사항에 따라 기계 설정
사이트에
