PVD 마그네트론 스퍼터링 코팅기
1. 마그네트론 스퍼터링 는 플라즈마 코팅 공정입니다. 스퍼터링대상 표면에 대한 이온 충격으로 인해 물질이 방출됩니다.PVD 코팅 기계의 진공 챔버는 아르곤과 같은 불활성 가스로 채워져 있습니다.
2. 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 배치 유형에는 다음과 같은 주요 구성 요소가 포함됩니다.
마그네트론 스퍼터링 음극: 실린더 또는 평면 유형;
전원 공급 장치: 펄스 DC, MF, RF
이온 소스: 일반적으로 글로우 방전, 플라즈마 세척을 위한 플라스틱/유리/세라믹/금속 부품용.
바이어스 전원 공급 장치: 강철, 철, 강철 합금, zamak, 알루미늄 합금, 황동 등 전도성 공작물에만 작동합니다.
진공 펌프 패키지: 로터리 베인 펌프, 로터리 피스톤 펌프, 루츠 펌프, 확산 펌프/터보 분자 펌프, 홀딩 펌프 등
기타: 게이트 밸브/진공 게이지, MFC, 진공 피팅 및 진공 배관 라인, 피드스루,
3. RTSP 시리즈 코팅 장비는 전도성, 비전도성 기능 코팅, 미적 목적의 생산에 사용됩니다.
A. 적용 분야: 터치 스크린, 디스플레이용 유리에 ITO 코팅;건축 유리;자동차 산업: 자동차 휠 및 림, 자동차 미러, 헤드 램프, 테일 라이트, 플라스틱 내부 및 외부;식기 및 주방 용품, 보석, 스포츠 및 장난감, 전기 도금 대체품.
B. 코팅 재료:
금속: Ti(티타늄), Cr 크롬), Zr(지르코늄), Cu(구리), Al(알루미늄), Ni(니켈),
SUS316(스테인리스) ...
금속 합금: Ti-Al 합금, Ni-Ca 합금(니켈 - 카드뮴), ITO(인듐 주석 산화물)
C. 스퍼터링 방법: DC/MF/RF
D. 특징: 저온 증착
4. 마그네트론 스퍼터링 코팅기 모델
모델 | 사이즈(mm) | 행성 막대의 수 | 스퍼터링 파워(kVA) | 스퍼터링 음극(수량) | 마그네트론 스퍼터링 기술 | MFC | 주목 |
RTSP-1250 | 1250xH1250 | 6 | 2* 30 DC/MF | 2 | 균형, 불균형 | 1~4 | 고품질 장식 코팅 |
RTSP-1400 | 1400xH1250 | 6, 8 | 2*36 DC/MF | 2 | |||
RTSP-1600 | 1600xH1250 | 6,8,12 | 2*48 DC/MF | 2 | |||
독점 산업 응용
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RTSP-900 | 900xH900 | 1 | 1*12 DC | 1 | 평면 타겟 | 1~4 | 자동차 림, 내부 및 외부 트림 |
RTSP-1315 | 1300xH1500 | 1 | 1*48 DC | 1 | 평면 타겟 | ||
RTSP-1618 | 1600xH1800 | 2 | 2*72 DC | 2 | 평면 타겟 | ||
RTSP-800 | 800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | 실린더 또는 평면 | 이토, 아칸소 | |
RTSP-1616 | 1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | 평면 타겟 | 2도어 |
5. 마그네트론 스퍼터링 코팅기
제작 시간: 2016
위치: 중국
산업: 세라믹 시트에 Cu 전도성 필름 코팅
6. 실버 스퍼터링 코팅 샘플
자세한 사양은 당사에 문의하십시오. Royal Technology는 귀하에게 토털 코팅 솔루션을 제공하게 된 것을 영광으로 생각합니다.