PECVD 가는 필름 코팅기, 이온 소오스 플라즈마는 PVD 증착 시스템을 높였습니다
왜 우리 이?
표준화된 생산 절차와 엄격한 시험에 결합된 진보적 생산 기계장치 (정처없이 돌아다니면서,, 잘리, 진공 리크 시험을 용접하 ) 왕족 기술이 고급 품질, 믿을 만하고 저렴하 코팅 시스템을 생산할 수 있게 합니다.
품질, 서비스와 적시 배달은 왕실 기술의 사업의 핵심 원리입니다. 공공연하게 전문적 제조에게 단순 구성 요소를 아웃소싱하는 전략은 우리가 핵심 부분에 대한 관심과 부품 R&D, 제조업을 집중시킬 수 있게 허락합니다.
엄격한 품질 관리 정책과 검증 공급 툴들 중에서 혹독한 선정은 로열 기술의 고객들이 가장 감당할 수 있는 비용에 가장 진보적 최고급 품질 장비를 받는다는 것을 보장합니다.
핵심 기술은 어떻게 연료와 산소로서 수소 사이의 전기 화학 반응을 통한 전력 모듈을 연료 전지와 전기 에너지를 생성하여야 하는지입니다.
전력 모듈, 과학자들, 엔지니어들, 교통 조직으로부터의 교수와 세계적 자동차 제조의 가장 주요한 주요 부분으로서의 수소 연료 전지는 천 실험을 만들고 마침내 적절한 처리를 발견했습니다.
그것은 100% 엔프리온메탈리 친화 기술이고 운송수단입니다.
우리의 기계 RTSP1200 모델은 독점적으로 이 적용을 위해 설계되고 개발됩니다. 우리는 상하이 지아오통 대학과 상하이 자동차 그룹 기업 유한 책임 회사와 협력했습니다.
높은 균일성, 강력 접착 sic 박막을 맡기기 위한 PECVD (플라즈마 강화 화학 기상 증착) 기술과 수소 연료 셀 전력 모듈 튀김 시스템.
수소 연료 전지 스퍼터링 머신은 이온 소스, 균형적 / 언블랑드 스퍼터링 캐소드를 포함합니다 ; 안정적이고 큰 량 진공 펌프 장치로.
시스템 규격을 스퍼터링시키는 수소 연료 셀 전력 모듈
| 모델 | RTSP1200 | |||||||||
| 재료 | 스테인레스 강 (S304) | |||||||||
| 챔버 사이즈 | Φ1200*1300mm (H) | |||||||||
| 챔버 타입 | 수직인 2 문 구조물을 향하고 지원하세요 | |||||||||
| 단기통펌프 패키지 | 회전 피스톤 진공 펌프 | |||||||||
| 루우츠 진공 펌프 | ||||||||||
| 마그네틱 서스펜션 분자 펌프 | ||||||||||
| (펌프를 잡는) 로터리 베인 펌프 | ||||||||||
| 기술 | 자전관 스퍼터링, 이온 소스 PECVD | |||||||||
| 전원 공급기 | 스퍼터링 파워 공급 + 바이어스 전력 공급 + 이온 소스 | |||||||||
| 증착 소스 | 2 쌍 DC / RF 스퍼터링 캐소드 + (2 쌍 여분이게 사용하기) + 이온 소스 | |||||||||
| 제어 | PLC+Touch 스크린 | |||||||||
| 가스 | 가스 질량 유량계 (Ar, N2, O2) 아르곤인 C2H2, 질소와 에틴, 산소 | |||||||||
| 안전 시스템 | 수많은 안전은 운영들과 장비를 보호하기 위해 맞물립니다 | |||||||||
| 냉각 | 냉각수 | |||||||||
| 세정 | 글로우 방전 / 이온 소스 | |||||||||
| 전원 맥스. | 150KW | |||||||||
| 평균 소비 전력 | 75KW |
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특별한 계획된 랙과 지그 시스템은 기판 편리한 로딩 / 언로딩을 위해 완전히 이동을 꺼낼 수 있습니다.
더 많은 상술을 위해 우리에 연락하시오 그러면 왕족 기술은 당신에게 전체 도료 솔루션을 제공하는 것을 영광으로 생각합니다.
