정밀도 잠그개 PVD 박막 도금 기계/Nano 박막 PVD 훈장은 끝냅니다
PVD는 무엇입니까?
PVD는 (육체적인 수증기 공술서의 짧은 이름은 입니다) 전기로 전도성 표면에 획일하게 예금될 수 있는 등각 금속 근거한 박막을 생성하는 진공 코팅 과정 입니다. 아크 이온 증발과 자전관 MF 침을 튀기 방법을 사용하여, 입히는 층은 지상 단면도 변경 없이 충분한 적용을 제공합니다. 이 기술은 광학적인 매체, 광학 및 반도체 성분을 포함하여 많은 전자 공업에서 사용됩니다.
PVD 박막 재산
정밀도 잠그개 PVD 박막 도금 기계는 잠그개로 적용되고 나사, 놀이쇠, 으깸, 이음쇠, 화장품, 전자 제품, 기계적인 기계에서 사용된 모자 같이 이음쇠는, 자동차 산업 널리 PVD Panton 색깔의 다양성, 금의 범위, 검정, 파랑, 회색, 는, 무지개, 청동, champage 등을 얻기 위하여 기술을 쓰고 있습니다.
정밀도 잠그개 PVD 박막 도금 기계 공술서 근원
단단한 금속 표적의 증발을 위한 조타된 원형 아크 근원;
MF의 2개 쌍은 흑연 박막 층 공술서를 위한 침을 튀기 음극선을 unblanced;
전처리를 위한 플라스마 지역을 형성하는 이온 bomboardment를 위한 비스듬한 전력 공급;
양극 선형 이온샘 단위 (선택을 위해) PACVD와 PECVD 가공;
물 분자 응축을 위한 Cryopump (Polycold) (선택을 위해)
정밀도 잠그개 PVD 박막 도금 기계 구조
1. 진공 약실
2. Rouhging 진공 펌프 체계 (역행 펌프 포장)
3. 높은 진공 펌프 체계 (자석으로 중단 분자 펌프)
4. 전기 통제와 가동 체계
5. Auxiliarry 시설 체계 (하부 조직)
6. 공술서 체계: MF 침을 튀기기 음극선, MF 전력 공급, 선택을 위한 비스듬한 전력 공급 이온샘
Machin 성과를 도금하는 정밀도 잠그개 PVD 박막
1. 궁극적인 진공 압력: 5.0×10-6 Torr 보다는 나아지십시오.
2. 작동 진공 압력: 1.0×10-4 Torr.
3. Pumpingdown 시간: 1 atm에서 1.0×10-4 Torr≤에 3 분 (건조한 실내 온도는, 약실을 청소하고 비웁니다)
4. 침을 튀기는 물자를 (+ 아크 증발) 금속을 입히기: Ni, Cu, Ag, Au, 티타늄, Zr, 크롬, 주석, TiC, TiAlN, CrN, CrC, 등.
5. 작동 모형: 수동의 가득 차있는 자동적으로 /Semi-Auto/
Machin 명세를 도금하는 정밀도 잠그개 PVD 박막
| 모형 | RTAC1250-SPMF | ||||||
| 기술 | 침을 튀기는 MF 자전관 + 이온 도금 | ||||||
| 물자 | 스테인리스 (S304) | ||||||
| 약실 크기 | Φ1250 * H1250mm | ||||||
| 약실 유형 | 실린더, 수직, 1 문 | ||||||
| 침을 튀기기 체계 | 얇은 까만 영화 공술서를 위한 독점적으로 디자인 | ||||||
| 공술서 물자 | 알루미늄, 는, 구리, Chrome의 스테인리스, 니켈 |
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| 공술서 근원 | 2 세트는 MF 원통 모양에게 침을 튀기는 것이 표적으로 하는 + 8개를 음극 아크 근원 + 선택을 위한 이온샘을 조타했습니다 | ||||||
| 가스 | MFC- 4 방법, Ar의 N2, O2, C2H2 | ||||||
| 통제 | PLC (풀그릴 논리 관제사) + | ||||||
| 펌프 체계 | SV300B - 1 세트 (Leybold) | ||||||
| WAU1001 - 1개는 놓습니다 (Leybold) | |||||||
| D60T- 1 세트 (Leybold) | |||||||
| 터보 분자 펌프: 2* F-400/3500 | |||||||
| 전처리 | 비스듬한 전력 공급: 1*36 KW | ||||||
| 안전 시스템 | 통신수를 보호하는 수많은 안전 내부고정기 | ||||||
| 냉각 | 냉수 | ||||||
| 전기 힘 | 480V/3 phases/60HZ (고분고분한 미국) | ||||||
| 460V/3 phases/50HZ (고분고분한 아시아) | |||||||
| 380V/3 phases/50HZ (고분고분한 EU-CE) | |||||||
| 발자국 | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| 총 무게 | 7.0 T | ||||||
| 발자국 | (L*W*H) 5000*4000 *4000 MM | ||||||
| 주기 시간 | 30~40 분 (기질 물자에 따라서, 기질 기하학과 환경 조건) |
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| 힘 MAX. | 155 KW | ||||||
| 평균 일률 소비 (대강) |
75 KW |
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