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Ni Pvd 마그네트론 스퍼터링 기계 안정적인 Cr 진공 금속화 시스템

1 세트
MOQ
negotiable
가격
Ni Pvd 마그네트론 스퍼터링 기계 안정적인 Cr 진공 금속화 시스템
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풍모
제품 사양
마그네트론 스퍼터링 캐소드: 평탄구조 또는 실린더 음극
파워 모형: DC, MF
증착 소스: 음극 방전, 마그네트론 스퍼터
플라즈마 세정: 펄스용 선입견 플라스마 충격
이온 소스: 선 음극 계층형
장점: 양질이고 반복할 수 있는 탄력적, 안정적, 표준화된, 높은 것
공장 위치: 중국 상하이 시
전세계 서비스: 폴란드 - 유럽; 이란 - 서아시아 및 중동, 터키, 인도, 멕시코 - 남미
교육 서비스: 기계 작동, 유지 보수, 코팅 공정 레시피, 프로그램
보증: 제한 보증 1년 무료, 기계 수명
OEM 및 ODM: 유효한, 우리는 맞춤형 디자인 및 제작을 지원합니다
하이 라이트:

Ni Pvd 마그네트론 스퍼터링 기계

,

Cr 진공 금속 화 시스템

,

진공 마그네트론 스퍼터링 기계

기본 정보
원래 장소: 중국에서 만든
브랜드 이름: ROYAL
인증: CE by TUV
모델 번호: RTAC1215-SP
결제 및 배송 조건
포장 세부 사항: 기준을, 장거리 대양/공기 및 내륙 수송을 위해 새로운 사례/판지, 적당한에서 포장되기 위하여 수출하십시오.
배달 시간: 12~16 주
공급 능력: 달 당 6 세트
제품 설명

 

Ni PVD 스퍼터링 코팅 공장, Cr 진공 금속화 시스템, Sn/Ag 진공 도금 장비, 구리 도금 공장

 

 

Ni Pvd 마그네트론 스퍼터링 기계 안정적인 Cr 진공 금속화 시스템 0

 

장비 구조:

 

RTAC1215-SP 기계는 8진법 유형으로 진공 펌프, 8개의 아크 음극이 장착된 진공 챔버, 1개의 선형 이온 소스, 2세트의 DC 스퍼터링 음극 및 1쌍의 MF 스퍼터링 음극으로 구성됩니다.이온 소스, 스퍼터링 음극 장착 플랜지는 실제 코팅 공정의 요구에 따라 유연하게 교체될 수 있도록 표준화되었습니다.

 

신청:

 

1. 세라믹 씰링 부품, DPC 공정, 구리 PVD 스퍼터링 시스템, 구리 도금이 있는 LED 세라믹 칩, 알루미늄을 위한 DPC 산업2영형, AlN 세라믹 회로 기판, LED의 Al2O3 판, 반도체

 

2. 은, Ni, 크롬, 금, 알루미늄, In, Sn 등의 금속막 및 TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN 등

 

장점:

 

1. 비용 효율적인 생산

2. 워크 스테이션의 인간화 (워크 스테이션의 인체 공학적 설계, 공간, 소음 및 사고 위험 최소화)

3. 고품질 수율.

4. 강력한 가열 장치 및 플라즈마 소스 세척으로 강력한 접착력;

5. 업그레이드 및 유지 보수 작업을 위해 쉽게 접근할 수 있는 컴팩트한 디자인.

6. 완전 자동화, PLC+터치 스크린, 원터치 제어 시스템.

7. 적은 전력 소비로 고효율, 최대.50% 생산 비용 절감.

 

 

기술 사양:

 

  • 성능

1. 궁극의 진공 압력: 9.0*10 이상-5아빠;

  • 기본 진공 압력: 3.0*10-2아빠

3. 펌핑 다운 시간: atm에서 1.0×10까지-Pa≤15분(실온, 건조하고 깨끗하고 빈 챔버)

4. 증착 소스: Gencoa 마그네트론 스퍼터링 음극, 조정된 아크 음극, 이온 소스

5. 작동 모델: 전체 자동/반자동/수동

6. 난방: 실온에서 최대.500℃,

9. PECVD 및 PA PVD 공정용 이온 소스.

  • 구조

진공 코팅 기계에는 아래 나열된 주요 완성 시스템이 포함되어 있습니다.

1. 진공 챔버
1.1 크기: 내경: 1200mm

내부 높이: 1500mm

1.2 재질: 진공 챔버 SUS304

도어 및 플랜지 SUS304

챔버 강화 구조: SS41 연강, 도장 마감 표면 처리.

도장 마감 표면 처리된 챔버 섀시 SS41 연강.

1.3 챔버 실드 : SUS304

1.4 창 보기: 문에 2개

1.5 진공 챔버 배기 밸브(소음기 포함)

1.6 도어: SUS304 재질

2. 황삭 진공 펌핑 시스템:
오일 로터리 베인 진공 펌프 + 홀딩 펌프

  • 고진공 펌핑 시스템:

자기 서스펜션 분자 펌프 - 2 세트

4. 전기 제어 및 운영 시스템- PLC+ 터치 스크린 운영 시스템:

공급업체:

PLC: Mitsubishi + 터치 스크린(중국산)

전자 부품: SCHNEIDER, OMRON.

안전 보호 시스템:작업자와 장비(물, 현재 가스, 온도 등)를 보호하기 위한 다수의 안전 인터록

코팅 공정 시스템: 프로세스 자동화 및 제어.

4.1 주회로 : 무휴즈 차단기 스위치, 전자개폐기, 직렬형 C/T

4.2 전원 공급 장치: DC/MF 스퍼터링 전원 + DC 아크 전원 + 바이어스 전원 공급 장치

4.3 증착 제어 시스템

4.4 운영 체제: 터치 스크린 + PLC, 레시피 제어 및 데이터 로깅, 자동 종료, 자동 대피, 자동 코팅

4.5 측정 시스템

진공 압력: 진공 게이지: Pirani + Penning 게이지 + 전체 범위 진공 게이지 -- 유럽 브랜드

온도 측정 장치: 열전대
MFC: 질량 유량 컨트롤러(4가지 방법),

4.6 경보 시스템: 압축 공기 압력, 냉각수 흐름, 오작동

4.7 전력 부하 표시기: 전압 표시기 및 부하 전류 표시기

 

5.증착 시스템

5.1 증착 소스: 스퍼터링 음극 + 아크 소스 + 이온 소스

5.2 증착 재료: 구리, 알루미늄, 크롬, 은, 금, SS, 티타늄 등

6.하위 시스템

6.1 공기 압축 밸브 제어 시스템

6.2 냉각수 시스템: 물 흐름 파이프 및 스위치 밸브 시스템

 

  • 근무 환경

압축 공기: 5~8kg/cm2

냉각수: 수온: 20~25℃, 200 리터/분,
수압: 2~3kg/cm2,

 

전원 : 3상 380V 50Hz(60Hz), 130kVA, 평균소비전력 : 60KW

설치 면적: (L*W*H)4400*3200*2950mm

배기: 기계식 펌프용 벤트

 

 

자세한 사양은 당사에 문의하십시오. Royal Technology는 토털 코팅 솔루션을 지원합니다.

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