DLC 필름(Diamond - Like - Carbon)은 기계 부품, 자동차 베어링, 의료 기기, 군사, 항공 우주, 산업용 씰링 부품, 시계 등과 같은 높은 내구성 및 분마찰 계수.
PECVD + PVD 공정 DLC 코팅 기술은 가장 높은 표준 응용 프로그램을 충족시키기 위해 수년 동안 개발되었습니다.이 공정은 외부의 아름다움을 제외하고 제품 표면에 독특하고 완벽한 마무리를 제공합니다.
시계 DLC 박막 코팅기 사양
| 모델 | RTSP1010 | |||||||
| 기술 | PECVD 공정 - 마그네트론 스퍼터링 + 이온 소스 | |||||||
| 챔버 재료 | 스테인리스강(S304) | |||||||
| 챔버 크기 | Φ1000*1000mm(높이) | |||||||
| 챔버 유형 | 정팔면체실, 2도어 | |||||||
| 회전 랙 및 지그 시스템 | 6(8)위성, 최대.무게: 400kgs | |||||||
| 전원 공급 장치 | 수량스퍼터링의: 2*24 KW 전원 공급 장치의 바이어스: 1*24W 옵션 이온 소스 전원 공급 장치용 AE 전원 공급 장치 2 세트, 옵션용 AE 전원 공급 장치 | |||||||
| 증착 재료 | 크롬/C | |||||||
| 퇴적물 출처 |
2 쌍(4개) 스퍼터링 음극 + 2 이온 소스 코팅 영역: Dia800mm*H550mm; 균일성 면적: ±10~15% |
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| 제어 | PLC(Programmable Logic Controller) + 터치스크린 ( 수동 + 자동 + 반자동 작동 모델) | |||||||
| 펌프 시스템 | 로터리 베인 펌프: SV300B - 1세트(Leybold) | |||||||
| 루츠 펌프: WAU1001 - 1 세트(Leybold) | ||||||||
| 홀딩 펌프: D60C-1set-(Leybold) | ||||||||
| 마그네틱 로터 서스펜션 분자 펌프: MAG2200 - 2 세트(Leybold) | ||||||||
| 가스 질량 유량 컨트롤러 | 3채널, Made in America(MKS 브랜드) | |||||||
| 진공 게이지 | 모델: ZDF-X-LE, 중국산 | |||||||
| 선형 이온 소스 | 2개 전처리, 플라즈마 세척 + 보조 증착 | |||||||
| 안전 시스템 | 작업자와 장비를 보호하기 위한 다수의 안전 인터록 | |||||||
| 난방 | 히터: 20KW.최대온도: 400℃ | |||||||
| 냉각 | 산업용 냉각기(냉수) | |||||||
| 파워 맥스. | 100KW(약) | |||||||
| 평균 전력 소비 | 45KW(약) | |||||||
| 총 중량 | T(대략) | |||||||
| 발자국 | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MM | |||||||
| 전력 전기 | AC 380V/3상/50HZ |
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자세한 사양은 당사에 문의하십시오. Royal Technology는 귀하에게 토털 코팅 솔루션을 제공하게 된 것을 영광으로 생각합니다.
