실리콘 박편에 Au 금 자전관 침을 튀기기 코팅 기계, 유리 슬라이드, 세라믹 장
실리콘 박편에 침을 튀기는 Au 금 자전관
개요:
금 침을 튀기기 층 특징:
1. 의무적인 층은 기질과 금속 영화 접착을 강화하게 근본적 입니다. 왕 기술은 다른 신청에 근거를 둔 성숙한 입히는 조리법의 범위를, 지원합니다 직업적인 통보를 가진 우리의 고객을 개발했습니다.
2. 소밀 (RMS - 뿌리 평균 - 사각) < 40="">
4. 금 침을 튀기기 층 지상 순수성: 청결한 표면은 금 지상 수정을 채택하는 신청을 위해 요구됩니다. PVD에 따라서, 진공 체계에 있는 사용해, 금 근원의 본래 순수성은의 수평 가공하십시오 (99.99% 이상 일반적으로)
키워드: Au 금 nano 구조 박막 공술서, 침을 튀기는 PVD 금 침을 튀기는, 금 박막 자전관 체계를 금속을 입히는 금 진공
신청:
대학의 실험실, 금속 물자의 연구 및 개발 부는, 주로 전도성 층으로 전자제품 산업 및 현미경 견본 등에 과학에서 사용된 PVD 진공 코팅 봉사 센터, 제조합니다.
기술 명세:
모형 | RTAC0808-SP |
기술 | 침을 튀기는 DC + 이온샘 (선택권을 위해) |
물자 | 스테인리스 (S304) |
약실 크기 | Φ800*H800mm |
약실 유형 | 실린더, 수직, 1 문 |
회전하는 선반 체계 | 행성/중앙에게 몰기 |
공술서 물자 | 금, 알루미늄, 는, 구리, Chrome의 스테인리스, 니켈, 티타늄 |
공술서 근원 | 원통 모양/평면 침을 튀기기 음극선: option.+ 3 아크 근원을 위해 2 3 |
민감하는 가스 통제 | MFC, 방법 2/4 |
통제 | PLC (풀그릴 논리 관제사) + 터치스크린 |
펌프 체계 | SV300B - 1개 세트 (Leybold) 300m ³ /hr |
뿌리 펌프 - 1 세트, 150L/S | |
펌프 - 1 세트를 붙들기, 60m ³ /hr | |
터보 분자 펌프: - 1 세트, 3500L/S | |
전력 공급 |
비스듬한 전력 공급: 1*24 KW DC 침을 튀기기 힘: 2*24KW |
안전 시스템 | 통신수를 보호하는 수많은 안전 내부고정기 그리고 장비 |
냉각 | 찬물을 재생하십시오 |
가열 | 히이터, 9KW |
전기 힘 | 480V/3 phases/60HZ (고분고분한 미국) |
460V/3 phases/50HZ (고분고분한 아시아) | |
380V/3 phases/50HZ (고분고분한 EU-CE) | |
발자국 | L3200*W2600*H2000mm |
총 무게 | 3.0 T |
주기 시간 | 30~40 분 (기질 물자에 따라서, 기질 기하학과 환경 조건) |
힘 MAX. | 50KW |
평균 일률 소비 (대강) | 20KW |
PVD 금 도금 웨이퍼
명세 더를 위해 저희에게, 왕 기술 당신에게 총 코팅 해결책을 제공하기 위하여 명예를 줍니다 연락하십시오.