유도적인 증발 코팅 기계
개요:
유도 가열은 높은 가공 생산력 및 보편성 때문에 다른 분야, 가득 차있는 자동화의 청결 및 가능성에서 널리 이용됩니다. PVD 열 증발 기술의 1개의 방법으로, 과정은 환경을 위해 친절합니다. 감응작용이 2000℃와 더 많은 것의 온도를 도달하기 허용하기 때문에, 이 방법은 공업 생산품을 위해 아주 적당하 과학적인 연구.
RTEP0404 감응작용 증발 코팅 기계는 물자의 C60 증발 공술서를 위해 위에 변화합니다 디자인됩니다. C60는 장래를 제공합니다 연구 및 개발과 시험 결과를 제조합니다. 새로운 적용되는 기업을 확장하기 위하여 그(것)들을 원조하는 강한 공구.
첫번째 세트는 상하이대학교를 위해 일어납니다. 공업 생산품 모형은 가공 하에서 있습니다.
주요 응용 프로그램:
박막 층과 코팅을 위에 예금하기 위하여
유형:
수직 오리엔테이션, 종 모양의 항아리 모형, 최고 오프닝
설계 특징:
기술 명세:
1. 궁극적인 진공 압력: 9.0*10-5 Pa 보다는 나아지십시오;
기본적인 진공 압력: 3.0*10-4 Pa
3. 양수 가동불능시간: 1 atm에서 2.0×10-3 Pa≤25 분에 (건조한 실내 온도는, 약실을 청소하고 비웁니다)
4. 공술서 근원: 감응작용 증발기, 도가니
5. 작동 모형: 수동으로
6. 가열: 최대까지 실내 온도에서. 1000℃,
7. 증발 힘: RF 고주파와 전력 공급
8. 작동 가스: Ar
진공 코팅 기계는 아래에 리스트 된 열쇠 완비 체계를 포함합니다:
1. 진공 약실
1.1 크기: 안 직경 400mm
안 고도: 400mm
1.2 물자: 진공 약실 SUS304
약실은 구조를 강화합니다: 그려진 끝내는 지상 처리와 더불어 SS41 온화한 강철.
그려진 끝내는 지상 처리를 가진 약실 포좌 SS41 온화한 강철.
1.3 증발 방패: SUS304
1.4 전망 창: 약실 문에
1.5 진공 약실 배기 벨브 (를 포함하여 소음기)
2. 등경 진공 양수 체계:
이단식 기름 회전하는 바람개비 펌프
3. 높은 진공 양수 체계: 터보 분자 펌프
4. 전기 통제와 가동 체계 HMI 가동 단위
4.1 요점 회로: 아무도 신관 차단기 스위치, 전자기 스위치, 시리즈 유형에 있는 C/T
4.2 증발 힘
4.3 증발 통제 시스템
4.4 가동 체계: PLC
4.5 측정계
진공 압력: 진공 계기: Pirani + 계기를 쓰기
4.6 경보망: 압축 공기의 압력, 찬물 교류, Mis 가동
4.7 힘 짐 지시자: 전압 지시자와 짐 현재 지시자
5. 공술서 체계
5.1 공술서 근원: 감응작용 열 증발기
5.2 공술서 물자: C60
6. 하부 조직
6.1 공기 압축 벨브 통제 시스템
6.2 찬물 체계: 물 교류 관과 스위치 벨브 체계
6.3 작동 가스: Ar (>99.99%)
7. 노동 환경
압축공기: 5~8kg/cm2
찬물: 온도물에서: 20~25℃, 200 리터/분,
압력물에서: 2~3 kg/cm2,
힘: 3 단계 380V 50Hz (60Hz), 8kVA의 평균 일률 소비: 3kVA
임명 지역: (L*W*H) 2000*200*2000mm
배출: 기계적인 펌프를 위한 환풍
열기 위하여 자동적으로 Up-Down 단위를/가까운 약실 당기기
전기 울안 체계:
안전 끝:
RF 방사선에서 Shileding 보호
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