차 거울 진공 금속을 입히는 기계/알루미늄, 크롬 자동 거울 진공 금속을 입히는 체계
자동차 미러 진공 금속 화 기계 소개
이 기계에는 열 증발 소스와 마그네트론 스퍼터링 음극 소스의 2가지 기술이 있습니다.다양한 미러 애플리케이션에 유연합니다.
마그네트론 스퍼터링은 타겟 표면에 대한 이온의 충격으로 인해 스퍼터링 재료가 방출되는 플라즈마 코팅 공정입니다.PVD 코팅 기계의 진공 챔버는 아르곤과 같은 불활성 가스로 채워져 있습니다.고전압을 인가하면 글로우 방전이 발생하여 타겟 표면과 플라즈마 코팅으로 이온이 가속됩니다.아르곤 이온은 타겟 표면에서 스퍼터링 물질을 방출(스퍼터링)하여 타겟 전면의 제품에 스퍼터링된 코팅 층이 생성됩니다.
열 증발 소스는 텅스텐 필라멘트를 사용하여 Cr 또는 Al을 증발시키고 유리에 크롬/알루미늄 층을 형성하여 고반사 거울을 형성합니다.
일반적으로 크롬, 스테인리스 스틸 재료를 스퍼터링하는 마그네트론 스퍼터링;Al 및 Cu는 열 증발 소스로 증착됩니다.
자동차 미러 진공 금속 화 기계 기능
1. 진공 챔버는 스테인레스 스틸로 만들어진 수직형 단일 도어 구조입니다.약실 크기Φ1400~2500mm
2. 진공 시스템은 기계식 펌프, 루트 펌프 및 확산 펌프로 구성됩니다.
3. 10~28 아크 또는 1~4 아크 기둥 또는 평면 아크용 코팅 시스템.
4. 고전력 펄스 바이어스 전원.
5. 팽창 시스템에는 1~4 세트의 질량 유량 제어 장치와 가스 유량 디스플레이가 있습니다.
6. 전기 제어 시스템에는 회로 과부하, 물 차단 및 공기 차단을 위한 음향 및 조명 경보 장치가 장착되어 있습니다.
7. 제어 시스템(터치 스크린 + PLC)은 실시간으로 상세한 매개변수를 표시하고 자동 실행 모드에서 전체 생산 공정을 완전 자동으로 제어합니다.
자동차 미러 진공 금속 화 기계 모델
시스템/모델 | RTEP1200-SPDC | RTEP1400-SPDC | RTEP1600-SPDC | |
챔버 크기 | 지름 | 1200mm | 1400mm | 1600mm |
키 | 1400mm | 1600mm | 1800mm | |
기본 성능 |
궁극의 압력 | 10-4Pa | ||
작동 압력 | 1ATM에서 5x10-5Pa까지 15분 이내(무부하) | |||
창 보기 | 세트 | 1 | ||
수 필라멘트 |
PC | 18~22 | 20~24 | 20~26 |
펌핑 체계 |
선행 등급 펌프 |
70L/S | 150L/S | 150L/S |
뿌리 펌프 | 600L/S | 1200L/S | 1200L/S | |
확산 펌프 | 17500L/S | 30000L/S | 60000L/S | |
홀딩 펌프 | 30L/S | |||
레이어 모니터링 시스템 | 크리스탈 모니터 | 단일 센서/6개 센서 헤드 | ||
진공 게이지 | 1ATM ~ 10-4Pa | |||
제어기 | 세트 | 1 | ||
증발 전원 공급 장치 |
30KW | 35KW | 50KW | |
스퍼터링 타겟 | PC | 2~4 | ||
증발 전원 공급 장치 |
RF 또는 DC | |||
시스템 운영 | 자동/수동 | |||
냉각수 유량 |
100L/분 | 120L/분 | 150L/분 | |
고진공 판막 |
24인치 | 36인치 | 36인치 | |
황삭 밸브 | 6인치 | 6인치 | 8 인치 | |
포어라인 밸브 | 6인치 | |||
누출 밸브 | 2인치 | |||
홀딩 밸브 (옵션) |
1 인치 | |||
냉각탑 | 15 RT(수압: 4kg/cm2, 압력 강하: 2kg/cm2) | |||
냉각수 | 입구: 18℃;콘센트: 25℃;기준: 20±1℃ | |||
전기 제어 시스템 | PLC | |||
총 전력 요구 사항 |
75KW | 85KW | 95KW | |
환경 요구 사항 |
클래스 100,000 클린룸;에폭시 바닥재;에어컨;Temp.25±3℃;HUM50±10 |
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