ITO 필름 코팅기, 배스 타입 ITO 막 자전관 스퍼터링 코딩기 / 잔 ITO 증착 기계
ITO 막 코팅기기 표준 응용 : ITO 코팅층을 발생시키기 위한 PET, 글라스.
기계는 타임즈 지를 구축했습니다 : 2012년, 중국.
애플리케이션 : AR 영화, ITO 막.
공작물 :
분류하세요 : 300mm*100mm
PET의 두께 : 0.175mm+/-0.05mm
ITO 막의 *Thickness :185nm+/-5nm
면 저항 : 6~8ohm/sq
ITO 막 코팅기기 기술적 구성 :
1) 디씨 스퍼터링 원천들 : Cu, Al, ITO
2) MF 비산 소스들
3) 터보 몰큘러 펌프 + 백킹 펌프 그룹
4) ITO 막 질, 목표 사용율 자율 >30%를 향상시키기 위한 강자기마당
5) Cu, Al, Si는 활용 rate > 35%를 목표로 삼습니다
6) 증착 속도 : 30nm Ｍ ~ 40nm Ｍ / 분 / 분
7) 스퍼터링 균일성 지역 : 350 밀리미터
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