인디엄 틴 옥시드 코팅고품질 PET 기판에 ITO 코팅, ITO 생각 필름 진공 코팅 장비
PET ITO 얇은 필름 진공 코팅 장비는 유리 및 PET 재료에 높은 투명한 ITO 필름을 생성하기 위해 마겐트론 분사 기술을 가지고 있습니다.
PET ITO 얇은 필름 진공 코팅 장비 표준 애플리케이션: PET, 고품질의 유리 기판, 전자 디스플레이, ITO 코팅 미시스코프 슬라이드, 투명 보호 유리, 전도성 유리, 녹기 필름, 탈빙 필름 코팅,
PET ITO 얇은 필름 진공 코팅장비 구성:
1) DC 스프터링 소스: Cu, Al, ITO
2) MF 스프터링 소스
3) 터보 분자 펌프 + 백킹 펌프 그룹
4) ITO 필름 품질을 향상시키기 위한 고 강도 자기장, 목표 활용률 >30%
5) Cu, Al, Si 사용률> 35%
6) 퇴적 속도: 30nm m/min ~ 40nm m/min
7) 스프터링 균일성 영역: 350mm
PET ITO 얇은 필름 진공 코팅장비표준 사양
| 모델 | 크기 (mm) | 기판 조그마 (Qty) |
스프터링 전력 (kVA) |
스프터링 목표 (Qty) |
스프터링 카토드 |
MFC | 언급 |
| MSC800 | Φ800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | 실린더 | 3 | ITO 코팅 |
| MSC1616 | Φ1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | 직사각형 | 2 | 2개의 문 |
PET ITO 얇은 필름 진공 코팅장비코팅 샘플
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