로우-E 필름 웹 코팅 / 웹 롤에서 롤 진공 스프터링 코팅 기계
우리는 당신의 다층 퇴적 요구 사항을 충족시키기 위해 우리의 MultiWeb 시리즈 롤을 제안합니다.
| 일반 사양 | |||||||
| 진공 챔버 몸체: 단일 챔버 다압 구역 | |||||||
| 이동식 수송차: 웹 수송차 | |||||||
| 퇴출 구역: 2 X 스프터링 구역 (선택 사항: 3 스프터링 구역) | |||||||
| 스프터링 소스: 2 X 듀얼 카소드 스프터 소스 (선택: 3 듀얼 카소드 스프터 소스) | |||||||
| 기판 전처리기: 선형 이온 소스 | |||||||
| 웹 너비: 1300mm | |||||||
| 와일링 직경: Φ600mm 최대 | |||||||
| 나선 방향: 양방향 | |||||||
| 기판 두께: 15~300μm | |||||||
| 웹 라인 속도:0.5~10M/min | |||||||
| 웹 긴장: 5.0PLI 최대 0.5PLI 분 | |||||||
| 웹 정렬: ±3mm (하나의 통과) | |||||||
| 하이 진공 펌프: 터보 펌프 | |||||||
| 거친 진공 펌프: 건조 펌프 & 블로어 조합 | |||||||
| 수분 펌프: 폴리콜드 크라이오겐 | |||||||
| 퇴적 두께 제어: 모니터링 (선택) | |||||||
| a: 광학 전송 b: 에디 전류 저항 | |||||||
| 시스템 운영: PLC 기반 컴퓨터 시스템 운영 |
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