박막 형성 시스템을 스퍼터링시키는 PVD 기능적인 코팅 금

 금은 그것의 순수한 형식에서 밝은 황적색 색을 가지고 있습니다. 그것은 실온에 공기에서 산화하지 않고 따라서 정상 상태와 전기 전도도 하에 마구간에서 사는 것은 끊임없이 계속된 것이 매우 남습니다. 그것은 가장 공통 귀금속 중 하나가 마감에 사용했다는 것 입니다.

금은 내부식이며, 그것이 커넥터 핀과 전기 스위치 접촉을 위한 좋은 마무리로 만듭니다.

금 도금법은 중심 산업의 넓은 범위에 걸쳐 부품과 부품에서 사용됩니다 :

1. 의료 애플리케이션 : 본체 임플란트
2. 에너지 : 수소 연료 전지 양극판
3. 반도체 : 마이크로전자칩
4. 항공 우주 & 방위
5. 원거리 통신과 더 다릅니다

왕족 기술은 장기 협력을 위한 믿을 만한 팀을 찾고 있는 제조를 위한 교도관 코팅액을 공급합니다.

견고한 설계, 대형 배치식, 빠른 순환, 탄력적 코팅 공정은 왕족 팀이 추구한 기초적 설계 개념입니다.

설계 장점

1. 에너지 절약 : 콤팩트 디자인과 분자 펌프는 적용됩니다
2. 평면 스퍼터링 캐소드와 높은 목표 활용 최고 40%
3. 스퍼터드 Au 금막의 두께는 제어 가능합니다
4. 원 터치 작동 시스템

PVD 금 스퍼터링 증착

1. 때 유리, 금속 합금 기타 등등에 옵니다. 기판 물질, 결합층이 기판과 오필름 접착을 강화하도록 필수적입니다. 왕족 기술은 다른 응용 프로그램을 기반으로 성숙된 코팅 처방의 범위를 개발했고 전문가 조언과 우리의 고객들을 지원합니다.
2. 거칠기 (RMS - 실효치) < 40="">
3. 골드 스퍼터링 층 표면 순도 : 청정 표면은 금 표면 변경을 사용하는 애플리케이션에 필요합니다. 사용된 PVD 공정에 따라서, 금의 시스템, 원래 순도에서 진공의 수준은 일반적으로 99.99% 넘게 출처를 밝힙니다)
   
    

   기술적 요구 :

   모형을 만드세요 : RTSP800

   기술 : (선택을 위한) 디씨 스퍼터링 + 이온 소스

   재료 : 스테인레스 강

   챔버 사이즈 : Φ800*H800mm

   챔버 타입 : 수직이어 1개 문을 실린더를 다세요

   회전식 락 시스템 : 행성 / 중심 구동

   피착 물 : 금, 알루미늄, 은메달, 구리, 크롬, 스테인레스 강, 니켈, 티타늄

   증착 소스 : 평면 스퍼터링 캐소드,

   옵션을 위한 전통적 아크 음극 (코팅 공정의 요구에 따르면)

   반응 기체 통제 : 2/4 방식인 MFC

   제어 PLC (프로그램 논리 제어기) +IPC

   펌프 시스템 :
   SV300B - 1 세트 (레이볼드) 300m3/hr

   루츠 펌프 - 1개 세트, 490m3/hr

   고진공 유지 펌프 - 1개 세트, 60m3/hr

   터보 몰큘러 펌프 : - 1개 세트, 3500L/S

   전원 공급기 : 바이어스 전력 공급 : 1*24 KW

   디씨 스퍼터링 전원 : 12KW

   선형 이온 원천 : 5KW

   안전 시스템 :수많은 안전은 운영들과 장비를 보호하기 위해 맞물립니다

   냉각 재활용 : 냉각수

   가열되는 것 : 히터, 9KW

   전기적인 전력 :
   480V/3 phases/60HZ (순응한 미국)

   460V/3 phases/50HZ (순응한 아시아)

   380V/3 phases/50HZ (순응한 EU-CE)

   발자국 : L3200*W2600*H2000mm

   전체 중량 : 4.0 Ｔ

   순환 주기 : 30~40 분 (기판 물질, 기판 지오메트리와 환경적인 조건에 따라서)

   전원 맥스 : 50KW

   평균 소비 전력 (대략) : 20KW

   

인사이트

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