자전관 침을 튀기기 근원 명세
주요 특징
1. 유한 성분 자기장 디자인
2. 찬물에서 고립되는 자석
3. DC/MF와 RF 힘과 호환이 되는
4. 높은 표적 이용
5. 조정가능한 분출 방향
6. 고성능 조밀도와 우수한 균등성
7. 공정한 균형이 잡히지 않는 형태 선택
| 최대 침을 튀기기 힘 | |
| 간접적인 냉각된 표적 | > 20 와트/cm2 (DC) |
| > 7개 와트/cm2 (RF) | |
| 출력 전압 | 100개에서 1500 볼트 |
| 방전 전류 | > 0.05 amps/cm2 |
| 운영 압력 | 0.05에서 5 Pa |
| 표적 이용 | > 35% |
| 표적 | |
| 모양 | 직사각형 평면 |
| 간격 | 6mm~16mm |
| 폭 | 125mm |
| 임명 | 내부/외부 |
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