코팅기기를 스퍼터링시키는 PVD 마그네트론
1. 자전관 스퍼터링은 스퍼터링됨으로써 물질이 타겟 표면에 이온의 충격으로 인해 밖으로 보내지는 플라스마 코팅 공정입니다. PVD 코팅기기의 진공 챔버는 아르곤과 같은 불활성 가스로 채워집니다.
2. 자전관 스퍼터링 코팅 설비 배치식은 추적 핵심 부품을 포함합니다 :
마그네트론 스퍼터링 캐소드 : 실린더 또는 플래너 형 ;
전원 공급기 : 펄스 DC, MF, 무선주파수
이온 소스 : 일반적으로 배출하는 빛, 플라즈마 세정을 위한 plastic/glass/ceramic/metal 부분을 위해.
바이어스 전력 공급 : 전도성 있는 공작물에서의 유일한 일 : 철강, 철, 강합금, 자마크, 알루미늄 합금, 놋쇠 기타 등등.
진공 펌프 패키지 : 로터리 베인 펌프, 로터리 피스톤 펌프, 루츠 펌프, 펌프 기타 등등을 잡은 분사 펌프 / 터보 몰큘러 펌프.
다른 사람 : 게이트 이별 / 진공 게이지, 진공 관 이음쇠와 진공 유도관 라인인 MFC는 통과하여 피딩됩니다,
3. RTSP 시리즈 코팅 설비는 전도성 있는, 비전도성 기능적인 코팅, 미적인 목적의 생산을 위해 사용됩니다.
A. 애플리케이션 : 터치 스크린을 위한 글라스 위의 ITO 코팅이 전시합니다 ; 건축용 유리 ; 자동차 산업 : 자동차 휠과 림, 차 거울, 헤드 램프, 후미등, 플라스틱 내무부와 외부 ; 식기류 & 부엌 세간, 보석, 스포츠와 장난감, 수상 전기 도금하는 대체.
비. 코팅 물질 :
금속 : Ti (티타늄), Cr 크롬), 즈르 (지르코늄), Cu (구리), Al (알루미늄), Ni (니켈),
SUS316 (스테인레스 강) ...
금속 합금 : 티-알 불순물, 니-카 불순물 (니켈 - 카드뮴), ITO (인듐-주석 산화물)
Ｃ. 스퍼터링법 : DC / MF / 무선주파수
Ｄ. 특징 : 저온 증착
4. 기계모델들을 코팅하는 자전관 스퍼터링
| 모델 | 사이즈(MM) | 행성 로드의 수 | 말 많은 전원(kVA) | 스퍼터링 캐소드 (수량.) | 마그네트론 스퍼터링 기술 | MFC | 발언 |
| RTSP-1250 | 1250xH1250 | 6 | 2* 30 DC / MF | 2 | 균형적이고 균형 잡히지 않습니다 | 1 내지 4 | 고급 품질 장식 코팅 |
| RTSP-1400 | 1400xH1250 | 6, 8 | 2*36 DC / MF | 2 | |||
| RTSP-1600 | 1600xH1250 | 6,8,12 | 2*48 DC / MF | 2 | |||
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독점적 산업 애플리케이션
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| RTSP-900 | 900xH900 | 1 | 1*12 DC | 1 | 판형 타깃 | 1 내지 4 | 자동차 림, 내부와 외장 트림 |
| RTSP-1315 | 1300xH1500 | 1 | 1*48 DC | 1 | 판형 타깃 | ||
| RTSP-1618 | 1600xH1800 | 2 | 2*72 DC | 2 | 판형 타깃 | ||
| RTSP-800 | 800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | 실린더 또는 평탄구조 | ITO, AR | |
| RTSP-1616 | 1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | 판형 타깃 | 2개 문 | |
5. 자전관 스퍼터링 코팅기기
조립된 타임즈 지 : 2016
위치 : 중국
산업 : 세라믹 시트위에 코팅하는 Cu 전도성 필름
6. 은 스퍼터링 코팅 샘플
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