전도성 영화 PVD 침을 튀기기 체계, 세라믹 PVD 구리 침을 튀기기 진공 공술서 기계,

Au 금 침을 튀기기 공술서 장비, Silve/금 PVD 공술서 기계, 전도성 영화 PVD 침을 튀기기 체계 

개요: DPC 과정 직접적인 도금 구리는 LED/반도체/전자 기업으로 적용된 진보된 코팅 기술입니다. 1개의 전형적인 신청은 세라믹 이어 기질을 발광하. 술장수 알루미늄 산화물 (Al2O3)에 전도성 영화 공술서는, PVD에 의하여 AlN 기질 전통적인 제조와 비교된 침을 튀기 기술을 진공 청소기로 청소합니다

방법: DBC LTCC HTCC는, 매우 더 낮은 생산비 그것의 높은 특징입니다.

왕 기술 팀은 PVD 침을 튀기 기술로 우리의 고객을 성공적으로 개발했습니다 DPC 과정을 원조했습니다.

키워드: 세라믹 밀봉 부속, DPC 과정, 구리 PVD 침을 튀기기 체계, 술장수 도금을 가진 LED 세라믹 칩, 알루미늄₂ O₃의 AlN 세라믹 회로판, LED의 반도체에 Al2O3 판

DPC의 신청:

· HBLED

· 태양 집중 장치 세포를 위한 기질

· 자동 모터 통제를 포함하여 포장하는 힘 반도체

· 잡종과 전기 자동차 힘 관리 전자공학

· RF를 위한 포장

· 마이크로파 장치

DPC 기술 성과

       각종 기질 물자: (Al3O2, AlN) 세라믹, 유리 그리고 Si

• 매우 생산비를 낮추십시오.
• 걸출한 열 관리와 열 이동 성과
• 정확한 줄맞춤과 본 디자인
• 튼튼한 금속화 접착

특징:

• 주기 당 2.2 ㎡ 세라믹 기질까지 높은 처리량;
• 강력한 난방 위로 장치 및 플라스마 근원 청소를 가진 강한 접착;
• 격상시키고는 그리고 유지 관리 사항을 위한 쉬운 접근을 가진 소형 디자인 및.
• 완전히 자동화, PLC+Touch 스크린, 1 접촉 통제 시스템.
• 최대 더 적은 전력 소비를 가진 고능률. 50% 생산비 저장.

기술 명세

• 성과

1. 궁극적인 진공 압력: 9.0*10-5 Pa 보다는 나아지십시오;

• 진공 압력의 기초를 두십시오: 3.0*10-2 Pa

3. 양수 가동불능시간: atm에서 1.0×10-3 Pa≤15 분에 (건조한 실내 온도는, 약실을 청소하고 비웁니다)

4. 공술서 근원: Gencoa 자전관 침을 튀기기 음극선, 조타된 아크 음극선, 이온샘

5. 작동 모형: 수동의 가득 차있는 자동적으로 /Semi-Auto/

6. 가열: 최대까지 실내 온도에서. 500℃,

9. PECVD와 PA PVD 과정을 위한 이온샘.

• 구조

진공 코팅 기계는 아래에 리스트 된 열쇠 완비 체계를 포함합니다:

1. 진공 약실

1.1 크기: 안 직경: 1200mm

안 고도: 1500mm

1.2 물자: 진공 약실 SUS304

문과 플랜지 SUS304

약실은 구조를 강화합니다: 그려진 끝내는 지상 처리와 더불어 SS41 온화한 강철.

그려진 끝내는 지상 처리를 가진 약실 포좌 SS41 온화한 강철.

1.3 약실 방패: SUS304

1.4 전망 창: 문에 2

1.5 진공 약실 배기 벨브 (를 포함하여 소음기)

1.6 문: SUS304 물자

2. 등경 진공 양수 체계:

기름 회전하는 바람개비 진공 펌프 + 펌프를 붙들기
 

3. 높은 진공 양수 체계:  자석으로 중단 분자 펌프 - 2 세트

4. 전기 통제와 가동 체계 PLC+ 터치스크린 가동 체계:

공급자:

PLC: 미츠비시 + 터치스크린 (중국제)

전자 부품: 신아이더, OMRON.

안전 보호 체계: 통신수와 장비 (물, 현재 가스, 온도 등)를 보호하는 수많은 안전 내부고정기

코팅은 체계를 가공합니다: 프로세스 자동화 & 통제.

4.1 요점 회로: 아무도 신관 차단기 스위치, 전자기 스위치, 시리즈 유형에 있는 C/T

4.2 전력 공급: DC/MF 침을 튀기기 힘 + DC 아크 힘 + 비스듬한 전력 공급

4.3 공술서 통제 시스템

4.4 가동 체계: 터치스크린 + PLC, 조리법 통제 및의 자동 폐쇄, 자동 철수, 자동 코팅 자료 기록

4.5 측정계

진공 압력: 진공 계기: Pirani + 계기를 + 전 범위 진공 계기 쓰기 -- 유럽 상표

온도 측정기: 열전대
MFC: 질량 흐름 관제사 (4가지의 방법),

4.6 경보망: 압축 공기의 압력, 찬물 교류, Mis 가동

4.7 힘 짐 지시자: 전압 지시자와 짐 현재 지시자

5. 공술서 체계

5.1 공술서 근원: cathodes+ 침을 튀기기 아크 근원 + 이온샘

5.2 공술서 물자: 구리, 알루미늄, Chrome, 는, 금, SS, 티타늄 등.
 

6. 하부 조직

6.1 공기 압축 벨브 통제 시스템

6.2 찬물 체계: 물 교류 관과 스위치 벨브 체계

7. 노동 환경

압축공기: 5~8kg/cm2

찬물: 온도물에서: 20~25℃, 200 리터/분,
압력물에서: 2~3 kg/cm2,

힘: 3 단계 380V 50Hz (60Hz), 130kVA의 평균 일률 소비: 60KW

임명 지역: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

         배출: 기계적인 펌프를 위한 환풍

명세 더를 위해 저희에게, 왕 기술 당신에게 총 코팅 해결책을 제공하기 위하여 명예를 줍니다 연락하십시오.